Superscope為擁有4個轉(zhuǎn)塔的金相顯微鏡，可安裝4個M Plan APO 95mm金相物鏡方法。其放大倍數(shù)行動力，根據(jù)所選物鏡的倍數(shù)，通常由20～2000X不等切實把製度。該系統(tǒng)常用于極小微尺寸的待測點的測試或激光應用中保供。

HAPS探針臺為Superscope配置了兼顧剛性和精度的基座，可進行X-Y-Z三方向的精密定位進行部署。簡單直接的操作方法引領，可讓用戶列加專注于測試測量應用于中去，而不是探針臺的操作示範。