API激光干涉儀
儀器簡介：
5D/6D激光干涉儀是API的產(chǎn)品，一次安裝能夠同時(shí)測量線性軸的六個(gè)誤差品質，包括1個(gè)位置度誤差試驗、2個(gè)直線度誤差、3個(gè)角度誤差開展攻關合作。在通常情況下需要數(shù)天時(shí)間進(jìn)行的測試製度保障，使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成，實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表明自行開發，節(jié)省時(shí)間可達(dá)80%進行部署。該儀器體積小責任，重量輕應用情況，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器組建、干涉儀和6維傳感器組成表現，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束深刻變革，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋結論，經(jīng)光學(xué)相位探測器識別后進(jìn)行電子記數(shù)，記錄精確長度位移質生產力。第二束光用作直線度測量的參考光束適應性強，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源先進的解決方案，用來測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）拓展。為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測量儀在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮，以使測量儀的橫向和角度漂移量都降低到最小不斷進步，從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性工藝技術。測量儀配有自動氣壓、環(huán)境溫度補(bǔ)償器規模，自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響近年來，測量儀還配有專門設(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到最小發展目標奮鬥。
技術(shù)參數(shù)：
5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：
1. 線性：0.5ppm
2. 測量范圍：40米（1D可選80米）
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值
4. 范圍：800角秒
5. 滾動角精度：1.0角秒
6. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值
7. 范圍：500um
8. 垂直度精度：1角秒
9. 溫度：0.2攝氏度
10.濕度：5%
11.壓力：1mmHg
5D/6D精密型：
1. 線性：0.2ppm
2. 測量范圍：25米
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.5+0.05/m）角秒或1%顯示較大值
4. 范圍：400角秒
5. 滾動角精度：0.5角秒
6. 直線度精度：（0.5+0.1/m）um或1%顯示較大值
7. 范圍：300um
8. 垂直度精度：0.5角秒
9. 溫度：0.1攝氏度
10.濕度：3%
11.壓力：0.3mmHg
5D/6D高精密型：
1. 線性：0.2ppm
2. 測量范圍：根據(jù)用戶要求而定
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.2+0.02/m）角秒
4. 范圍：500角秒
5. 滾動角精度：0.5角秒
6. 直線度精度：（0.2+0.05/m）um
7. 范圍：100um
8. 垂直度精度：0.5角秒
9. 溫度：0.1攝氏度
10.濕度：3%
11.壓力：0.3mmHg
主要特點(diǎn)：
1. 同時(shí)測量線性定位誤差技術先進、直線度誤差（雙軸）、偏擺角延伸、俯仰角和滾動角
2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器
3. 可選的無線遙控傳感器最長的控制距離可到25米
4. 可測量速度情況正常、加速度、振動等參數(shù)最為突出，并評估機(jī)床動態(tài)特性落實落細。
5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤，設(shè)計(jì)緊湊高效化、體積小製高點項目，測量機(jī)床時(shí)不需三角架
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟範圍和領域，減少了調(diào)整時(shí)間
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