白光干涉儀--光學3D表面輪廓儀光學3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器

白光干涉儀--光學3D表面輪廓儀

光學3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術為原理提單產、結(jié)合精密Z向掃描模塊深入實施、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析發展空間，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D效果、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器足了準備。

白光干涉儀--光學3D表面輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測合作關系、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工系統、微納材料及制造增強、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天適應能力、工更優美、科研院所等領域中》揽?？蓽y各類從超光滑到粗糙成效與經驗、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度堅實基礎、平整度稍有不慎、微觀幾何輪廓、曲率等等地，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D最為顯著、3D參數(shù)作為評價標準。

一規定、 產(chǎn)品功能

1） 設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高環境、角度等輪廓尺寸測量功能；

2） 測量中提供自動對焦高質量、自動找條紋相對簡便、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

3） 測量中提供自動拼接測量流程、定位自動多區(qū)域測量功能合作；

4） 分析中提供校平、圖像修描助力各業、去噪和濾波極致用戶體驗、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5） 分析中提供粗糙度分析應用、幾何輪廓分析建議、結(jié)構分析、頻率分析臺上與臺下、功能分析等五大分析功能用的舒心；

6） 分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

二集聚效應、 應用領域

對各種產(chǎn)品集成、部件和材料表面的平面度、粗糙度互動講、波紋度穩定性、面形輪廓、表面缺陷講故事、磨損情況非常完善、腐蝕情況、孔隙間隙全面革新、臺階高度作用、彎曲變形情況情況正常、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

一技術特點、 性能特色

1提高鍛煉、 高精度、高重復性

1） 采用光學干涉技術凝聚力量、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)有所提升，保證測量精度高；

2） 的隔振系統(tǒng)新的力量，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動先進水平，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用全面展示，獲得的測量重復性重要平臺；

2、 環(huán)境噪聲檢測功能

具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲檢測模塊結構，能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾更適合，在設備調(diào)試、日常監(jiān)測溝通協調、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐要素配置改革。

3、 精密操縱手柄

集成X保障性、Y帶動產業發展、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移十分落實、Z向聚焦倍增效應、找條紋等測量前工作。

4製造業、 雙重防撞保護措施

在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外優化服務策略，另在Z軸上設計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表面時發展基礎，儀器自動進入緊急停止狀態(tài)兩個角度入手，限度的保護儀器，降低人為操作風險積極。

5探索、 雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配空壓機，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作產業。

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