Gloria-LDLS-A 激光誘導(dǎo)高亮度白光光源是一款高亮度帶動擴大，高穩(wěn)定核心技術體系、長(zhǎng)壽命寬光譜白光光源開拓創新，采用激光驅(qū)動(dòng)光源技術(shù)核心技術，使用連續(xù)激光直接加熱氙離子至需要的溫度，從而產(chǎn)生波長(zhǎng)范圍從170nm到2100nm 以上的白光主動性。此外由于等離子體中心位置高度穩(wěn)定創造性，因此空間穩(wěn)定性就會(huì)很好，在較長(zhǎng)距離都有很好的準(zhǔn)直性道路。

Gloria-LDLS-A 激光誘導(dǎo)高亮度白光光源

產(chǎn)品概述

激光驅(qū)動(dòng)白光光源是一款高亮度規模設備，高穩(wěn)定、長(zhǎng)壽命寬光譜白光光源指導，采用激光驅(qū)動(dòng)光源技術(shù)競爭力，使用連續(xù)激光直接加熱氙離子至需要的溫度，從而產(chǎn)生波長(zhǎng)范圍從170nm到2100nm以上的白光進一步完善。此外由于等離子體中心位置高度穩(wěn)定集聚，因此空間穩(wěn)定性就會(huì)很好，在較長(zhǎng)距離都有很好的準(zhǔn)直性調整推進。

Gloria-LDLS-A 激光誘導(dǎo)高亮度白光光源

寬帶白光光源狀況，采用激光泵浦的方式維持等離子體放電發(fā)光，避免了使用電極所帶來(lái)的種種缺陷機製。

特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)

■ 超高亮度

■ 超寬光譜

■ 超長(zhǎng)壽命

■ 超穩(wěn)定的緊湊型激光誘導(dǎo)白光光源

技術(shù)參數(shù)

■ 光譜輸出范圍：170-2100nm

■ 光譜輻射亮度：40mW/(mm2*sr*nm)@400nm

■ 輸出方式：自由空間輸出

■ 數(shù)值孔徑：0.47

■ 功率穩(wěn)定性：RMS<0.3%@30S

■ 燈泡壽命（典型值）：10000小時(shí)

■ 發(fā)光點(diǎn)尺寸：97*194um

■ 光源尺寸：82*86*76

■ 電源尺寸：113*111*209

■ 冷卻：自然冷卻全過程，無(wú)需外部輔助

■ 充氮：工作在DUV時(shí)需要通入氮?dú)?br/>光譜分布圖