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日立中型掃描電鏡SU3800 / SU3900

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  • 公司名稱 深圳市汐品科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地 深圳市
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時(shí)間 2024/7/16 14:36:36
  • 訪問次數(shù) 132

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1) 支持超大/超重樣品測(cè)試  可搭載的樣品尺寸:“SU3800” 標(biāo)配可搭載直徑200mm樣品的樣品倉為產業發展,可應(yīng)對(duì)高度為80mm、重量為2kg的樣品有所增加。 “SU3900”作為日立的大型掃描電鏡各項要求,標(biāo)配可搭載直徑300mm樣品的樣品倉,可應(yīng)對(duì)高度為130mm越來越重要的位置、重量為5kg(比前代機(jī)型提高2.5倍*2)的樣品  (2) 支持大視野觀察  ■“SU3800”與“SU3900”的觀察范圍分別是:直徑130mm新技術、直徑200mm

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概述
產(chǎn)品參數(shù)

1) 支持超大/超重樣品測(cè)試

  可搭載的樣品尺寸:“SU3800” 標(biāo)配可搭載直徑200mm樣品的樣品倉,可應(yīng)對(duì)高度為80mm順滑地配合、重量為2kg的樣品深入。 “SU3900”作為日立的大型掃描電鏡,標(biāo)配可搭載直徑300mm樣品的樣品倉前沿技術,可應(yīng)對(duì)高度為130mm基礎、重量為5kg(比前代機(jī)型提高2.5倍*2)的樣品


(2) 支持大視野觀察

  ■“SU3800”與“SU3900”的觀察范圍分別是:直徑130mm、直徑200mm

  ■安裝有“SEM MAP”導(dǎo)航功能多種方式,只需在導(dǎo)航畫面上觀察目標(biāo)位置對外開放,即可移動(dòng)視野

  ■安裝有“Multi Zigzag”系統(tǒng),可在不同的視野自動(dòng)拍攝多張高倍率圖像深入交流研討,并將取得的圖像拼接在一起資料,生成大視野高像素圖像


(3) 通過自動(dòng)化功能提高操作性能

  ■通過自動(dòng)光路調(diào)整和各種自動(dòng)化功能,樣品設(shè)置完后立即可以開始觀察關註度。關(guān)于圖像調(diào)整橫向協同,自動(dòng)功能執(zhí)行時(shí)的等待時(shí)間比前代機(jī)型*4縮短了三分之一以下

  ■安裝有“Intelligent Filament Technology(IFT)”軟件,自動(dòng)監(jiān)控鎢燈絲*5的狀況橋梁作用,顯示預(yù)計(jì)的更換時(shí)期長遠所需。在長(zhǎng)時(shí)間的連續(xù)觀察和顆粒度解析等大視野分析時(shí),也可避免長(zhǎng)時(shí)間測(cè)試過程中因鎢燈絲使用壽命到期所造成的中斷觀察拓展應用。

產(chǎn)品參數(shù)

ITEMSU3800SU3900
二級(jí)電子分解能3.0nm(加速電壓30kV生產創效、WD=5mm、高真空模式)
15.0nm(加速電壓1kV管理、WD=5mm優化上下、高真空模式)
背散射電子分解能4.0nm(加速電壓30kV能力建設、WD=5mm、低真空模式)
倍率×5~×300,000(照片倍率*1)
×7~×800,000(實(shí)際顯示倍率*2)
加速電壓0.3kV~30kV
低真空度設(shè)定6~650 Pa
圖像位移±50µm(WD=10mm)
樣品尺寸200mm直徑300mm直徑
樣品臺(tái)X0~100mm0~150mm
Y0~50mm0~150mm
Z5~65mm5~85mm
R360°連續(xù)
T-20°~+90°
可觀察范圍130mm直徑(R并用)200mm直徑(R并用)
可觀察高度80mm(WD=10mm)130mm(WD=10mm)
電機(jī)驅(qū)動(dòng)5軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)
電子光學(xué)系統(tǒng)電子槍中心操控式鎢絲發(fā)射
物像鏡頭光圈4孔可動(dòng)光圈
檢測(cè)系統(tǒng)二級(jí)電子檢測(cè)器生產體系、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器
EDX分析WDWD=10mm(T.O.A=35°)
圖像顯示自動(dòng)光軸調(diào)整功能自動(dòng)光束調(diào)整(AFS→ABA→AFC→ABCC)
自動(dòng)光軸調(diào)整(實(shí)時(shí)級(jí)別對(duì)齊)
自動(dòng)調(diào)整光束亮度
自動(dòng)圖像調(diào)整功能自動(dòng)亮度和對(duì)比度控制(ABCC)
自動(dòng)對(duì)焦控制(AFC)
自動(dòng)標(biāo)記和焦點(diǎn)功能(ASF)
自動(dòng)燈絲飽和度調(diào)整(AFS)
自動(dòng)光束對(duì)準(zhǔn)(ABA)
自動(dòng)啟動(dòng)(HV-ON→ABCC→AFC)
操作輔助功能光機(jī)旋轉(zhuǎn)服務、動(dòng)態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能能力和水平、數(shù)據(jù)輸入(點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量覆蓋、角度測(cè)量、文本)研究、預(yù)設(shè)放大高效、樣品臺(tái)位置導(dǎo)航功能(SEM MAP)、光束標(biāo)記功能
配件■硬件:軌跡球提高、操縱桿機構、操作面板、壓縮機(jī)交流、高靈敏度操作低空探測(cè)器(UVD)基礎、紅外CCD探測(cè)器、攝像機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口還不大、3D捕獲高產、裝置臺(tái)移動(dòng)限制解除功能、EDS集成
配件(外部裝置)能量散射X射線分析儀(EDS)發揮作用、波長(zhǎng)色散X射線分析儀(WDS)良好、
各種外部功能臺(tái)(加熱臺(tái)、冷卻臺(tái)勇探新路、牽引臺(tái))

* 1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm(4x5照片尺寸)的顯示尺寸單產提升。

* 2.放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm(1,920 x 1,080像素)的顯示尺寸。



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