超高分辨肖特基場發(fā)射掃描電鏡 SU7000
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- 公司名稱 深圳市汐品科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 所在地 深圳市
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時間 2024/7/16 14:30:20
- 訪問次數(shù) 132
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核心理念采用優(yōu)異的成像技術(shù)SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細結(jié)構(gòu)等多種檢測信號堅定不移。全新設(shè)計的電子光學系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)組合運用,使得裝置可以同時接收二次電子和背散射電子等信號,用戶可以在短時間內(nèi)獲得更全面的樣品信息迎難而上。采用多通道成像技術(shù)隨著用戶對成像需求的不斷增長積極,SU7000特新增了幾種探測器,還引進了相應(yīng)的成像功能堅持先行。SU7000最多可同時顯示和保存6通道信號產業。實現(xiàn)了獲得樣品信息的。支持不同形狀樣品情況較常見、多種觀察方法?大型樣品觀察?低真空觀察
采用優(yōu)異的成像技術(shù)
SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細結(jié)構(gòu)等多種檢測信號可持續。全新設(shè)計的電子光學系統(tǒng)和檢測系統(tǒng),使得裝置可以同時接收二次電子和背散射電子等信號體製,用戶可以在短時間內(nèi)獲得更全面的樣品信息全過程。
采用多通道成像技術(shù)
隨著用戶對成像需求的不斷增長,SU7000特新增了幾種探測器探討,還引進了相應(yīng)的成像功能。SU7000最多可同時顯示和保存6通道信號高效流通。實現(xiàn)了獲得樣品信息的調解製度。
支持不同形狀樣品、多種觀察方法
?大型樣品觀察
?低真空觀察
?超低溫觀察
?實時觀察
等所需的樣品倉和真空系統(tǒng)都十分完備功能,觀察方法也是應用的因素之一。
支持微納解析
采用肖特基發(fā)射電子槍,束流可達到200 nA預期,適用于各種微納解析敢於監督。樣品倉形狀和接口設(shè)置支持EDX分析、EBSD結構、陰極熒光分析等重要的作用,接口設(shè)備可通過選配附件滿足各種特殊需求。
隨著用戶對樣品數(shù)據(jù)的需求更加多元化規模最大,對檢測系統(tǒng)在短時間內(nèi)捕捉更多的信息提出了更高的要求穩中求進。SU7000的檢測系統(tǒng)可以在不改變WD等條件的前提下,更高效地獲取形貌系統性、成分勇探新路、晶體學以及發(fā)光等信息單產提升。真正實現(xiàn)了更快速、更全面的信息收集試驗。
項目 | 內(nèi)容 | ||
---|---|---|---|
圖像分辨率 | 二次電子分辨率 | 0.8 nm/15 kV | |
0.9 nm/1 kV | |||
放大倍率 | 20~2,000,000 x | ||
電子槍 | 發(fā)射體 | ZrO/W熱場發(fā)射(肖特基熱場發(fā)射) | |
加速電壓 | 0.1~30 kV (步進:0.01 kV) | ||
束流 | 200 nA | ||
探測器 | 標準探測器 | UD (上探測器) | |
MD (中探測器) | |||
LD (下探測器) | |||
選配探測器*1 | PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測器) | ||
UVD(高靈敏度低真空探測器 ) | |||
低真空模式*1 | 樣品倉壓力范圍 | 5~300 Pa | |
可使用探測器 | PD-BSED, UVD, UD, MD, LD | ||
馬達臺 | 馬達臺控制 | 5軸馬達驅(qū)動 | |
移動范圍 | X | 0~135 mm | |
Y | 0~100 mm | ||
Z(WD) | 1.5~40 mm | ||
T(傾斜角) | -5~70° | ||
R(旋轉(zhuǎn)角) | 360° | ||
樣品尺寸 | 直徑:φ200 mm, 高度:80 mm | ||
顯示器*1 | 23英寸LCD (1,920×1,080), 支持雙屏 | ||
圖像顯示模式 | 全屏顯示模式 | 1,280×960像素顯示 | |
單屏顯示模式 | 800×600像素顯示 | ||
雙屏顯示模式 | 800×600像素顯示勞動精神、1,280×960像素顯示 *2 | ||
四屏顯示模式 | 640×480像素顯示 | ||
六屏顯示模式*2 | 640×480像素顯示 *2 | ||
圖像數(shù)據(jù)保存 | 保存圖像尺寸 | 640×480、1,280×960製度保障、2,560×1,920預下達、5,120×3,840、10,240×7,680 | |
選配附件 | 能譜儀(EDX) | ||
X射線波譜儀(WDX) | |||
電子背散射衍射(EBSD) | |||
陰極熒光探測器(CL) | |||
冷凍傳輸系統(tǒng) | |||
各種功能樣品臺 |
*1
為選配項進行部署。
*2
支持雙屏顯示責任。
*您想獲取產(chǎn)品的資料:
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