產(chǎn)品名稱:MX12R 半導體 FPD 檢查顯微鏡
產(chǎn)品品牌:SOPTOP
產(chǎn)品簡介:全新的MX12R半導體 FPD 檢查顯微鏡,支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查不斷豐富,含 4實施體系、6、8各有優勢、12英寸多種轉(zhuǎn)盤效果較好,可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機工程學設計全面提升持續,為用戶提供更加舒適等多個領域、靈活、快捷的操作體驗產品和服務。
光學系統(tǒng) | 無限遠色差校正光學系統(tǒng) |
觀察方式 | 明場/暗場/偏光/DIC |
觀察筒 | 無限遠鉸鏈三通觀察筒,0-35°傾角可調(diào),正像,瞳距調(diào)節(jié) :50-76mm應用擴展,分光比 100:0 或 0:100 |
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡 PL10X/25mm體驗區,視度可調(diào),可帶單刻度十字分劃版 |
物鏡 | 無限遠明暗場半復消金相 DIC 物鏡 5X 10X 20X 50X 100X |
無限遠長工作距明暗場半復消金相 DIC 物鏡 20X | |
無限遠長工作距明暗場半復消金相物鏡 50X 100X | |
轉(zhuǎn)換器 | 明暗場六孔電動轉(zhuǎn)換器活動上,帶 DIC 插槽 |
機架組 | 反射式機架有望,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)。粗調(diào)行程35mm導向作用,微調(diào)精度0.001mm方案。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng) |
透反機架十大行動,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)左右。粗調(diào)行程 35mm,微調(diào)精度 0.001mm綜合措施。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置長期間。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng) | |
載物臺 | 右手位 14×12 英寸三層機械移動平臺,低手位 X現場、Y 方向同軸調(diào)節(jié) 高端化;平臺面積 718mmX420mm,移動范圍 :356mmX305mm |
帶離合器手柄不久前,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動 用上了;玻璃載物臺板 ( 反射用) | |
電動平臺 | 面積 495mmX641mm,移動范圍 :306mmX306mm 能力建設;軟件控制 X關註、Y 移動,重復定位精度無障礙,(3+L/50)μm 帶平板平臺 |
照明系統(tǒng) | 明暗場反射照明器 , 帶可變電動孔徑光闌連日來,視場光闌 , 中心均可調(diào) ;帶明暗場照明切換裝置 認為;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
攝影攝像附件 | 0.5X/0.65X/1X 攝像接筒系統,C 型接口,可調(diào)焦 |
其他 | 起偏鏡插板重要意義,固定式檢偏鏡插板交流等,反射用干涉濾色片組 ;高精度測微尺 規劃;DIC 組件 |