MM-U/F規(guī)格參數(shù)

不帶Z軸測(cè)量

型號(hào)

MM-6U-1010

MM-6U-1510

MM-12U-2015

MM-12U-3020

帶Z軸測(cè)量

型號(hào)

MM-6UF-1010

MM-6UF-1510

MM-12UF-2015

MM-12UF-3020

三目鏡筒

可選擇單目或雙目鏡筒，所有型號(hào)帶有標(biāo)準(zhǔn)TV攝像機(jī)端口

圖像

正像/反像

觀察方法

明場(chǎng)生產創效、暗場(chǎng)結構、偏光、微分干涉觀察

目鏡

屈光度可調(diào)10X（視場(chǎng)數(shù)：22mm)優化上下、20X

物鏡

明視場(chǎng)

所有Plan FLUOR EPI/Plan FLUOR EPI SL系列鏡頭

暗視場(chǎng)

所有Plan FLUOR EPI-BD系列鏡頭

調(diào)焦系統(tǒng)

被測(cè)物高度

150mm

200mm

調(diào)焦方法

粗微調(diào)同軸能力建設，左右手柄（粗調(diào)：40mm/圈、微調(diào)：0.02mm/圈）

照明裝置

透射照明

遠(yuǎn)心照明生產體系、無級(jí)亮度可調(diào)服務、5W LED光源

反射照明

科勒照明、FA輔助對(duì)焦能力和水平、可調(diào)視場(chǎng)光闌覆蓋、可調(diào)孔徑光闌、無級(jí)亮度可調(diào)研究、LED光源/鹵素光源可選

斜照明

LED環(huán)型光源／光纖冷光源

載物臺(tái)

測(cè)量范圍

100*100ｍｍ

150*100ｍｍ

200*150ｍｍ

300*200ｍｍ

金屬臺(tái)尺寸

285*250mm

300*250mm

400*280mm

500*350mm

玻璃尺寸

170*145mm

204*145mm

245*192mm

350*250mm

快速釋放裝置

標(biāo)準(zhǔn)配置

數(shù)字計(jì)數(shù)器

最小讀數(shù)

可在1/0.5/0.1μm選擇

功能

調(diào)零高效、分中、方向轉(zhuǎn)換深化涉外、公英制轉(zhuǎn)換體系、RS232輸出

測(cè)量精度

（3+0.02L）μm L為測(cè)量長(zhǎng)度

功耗

45W、85～240VAC 50/60HZ

主機(jī)

外型尺寸(W*D*H)mm

445*670*710

480*670*710

607*793*720

720*810*720

重量

50KG

55KG

80KG

110KG