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奧林巴斯激光共焦顯微鏡OLS5100

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    奧林巴斯激光共焦顯微鏡OLS5100

    主機(jī)

     

     

     

     

     

    型號(hào)

    OLS5100-SAF

    OLS5100-SMF

    OLS5100-LAF

    OLS5100-EAF

    總倍率

    54x–17,280x

    視場(chǎng)

    16 µm–5,120 µm

    測(cè)量原理

    光學(xué)系統(tǒng)

    反射式共焦激光掃描激光顯微鏡

    反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡

    顏色

    彩色DIC

    光接收元件

    激光:光電倍增管(2通道)

    彩色:CMOS彩色相機(jī)

    高度測(cè)量

    顯示分辨率

    0.5 nm

    動(dòng)態(tài)范圍

    16

    重復(fù)性σn -1*1 *2 *5

    5X0.45 μm, 10X0.1 μm, 20X0.03 μm, 50X0.012 μm, 100X0.012 μm

    準(zhǔn)確度*1 *3 *5

    0.15 + L / 100μmL:測(cè)量長(zhǎng)度[μm]

    拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *5

    10X5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長(zhǎng)度[μm])

    測(cè)量噪聲(Sq噪聲)*1 *4 *5

    1 nm(典型值)

    寬度測(cè)量

    顯示分辨率

    1 nm

    重復(fù)性n-1  *1 *2 *5

    5X0.4 μm, 10X0.2 μm, 20X0.05 μm, 50X0.04 μm, 100X0.02 μm

    準(zhǔn)確度*1 *3 *5

    測(cè)量值+/- 1.5%

    拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *5

    10X24+0.5L μm, 20X15+0.5L μm, 50X9+0.5L μm, 100X7+0.5L μm (L:拼接長(zhǎng)度[mm]

    單次測(cè)量時(shí)測(cè)量點(diǎn)數(shù)量

    4096 × 4096像素

    測(cè)量點(diǎn)數(shù)量

    3600萬(wàn)像素

    XY載物臺(tái)配置

    長(zhǎng)度測(cè)量模塊

    不適用

    不適用

    工作范圍

    100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng)

    100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動(dòng)

    300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動(dòng)

    100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng)

    樣品高度

    100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.)

    30 mm (1.2 in.)

    30 mm (1.2 in.)

    210 mm (8.3 in.)

    激光光源

    波長(zhǎng)

    405 nm

    輸出

    0.95 mW

    激光等級(jí)

    2級(jí)(IEC60825-12007至關重要,IEC60825-12014

    彩色光源

    白光LED

    電氣功率

    240 W

    240 W

    278 W

    240 W

    質(zhì)量

    顯微鏡主體

    31 kg

    32 kg

    50 kg

    43 kg

    控制箱

    12 kg

    物鏡

     

     

     

     

     

    系列

    型號(hào)

    數(shù)值孔徑(NA

    工作距離(WD)(mm

     

     

    UIS2物鏡

    MPLFLN2.5x

    0.08

    10.7

     

     

    MPLFLN5x

    0.15

    20

     

     

    專用LEXT物鏡(10X

    MPLFLN10xLEXT

    0.3

    10.4

     

     

    專用LEXT物鏡(高性能型)

    MPLAPON20xLEXT

    0.6

    1

     

     

    MPLAPON50xLEXT

    0.95

    0.35

     

     

    MPLAPON100xLEXT

    0.95

    0.35

     

     

    專用LEXT物鏡(長(zhǎng)工作距離型)

    LMPLFLN20xLEXT

    0.45

    6.5

     

     

    LMPLFLN50xLEXT

    0.6

    5.2

     

     

    LMPLFLN100xLEXT

    0.8

    3.4

     

     

    超長(zhǎng)工作距離物鏡

    SLMPLN20x

    0.25

    25

     

     

    SLMPLN50x

    0.35

    18

     

     

    SLMPLN100x

    0.6

    7.6

     

     

    適用于LCD樣品的長(zhǎng)工作距離物鏡

    LCPLFLN20xLCD

    0.45

    8.3-7.4

     

     

    LCPLFLN50xLCD

    0.7

    3.0-2.2

     

     

    LCPLFLN100xLCD

    0.85

    1.2-0.9

     

     

    應(yīng)用  軟件

     

     

     

     

     

    標(biāo)準(zhǔn)軟件

    OLS51-BSW

     

    數(shù)據(jù)采集app

    分析應(yīng)用程序(簡(jiǎn)單分析)

     

    電動(dòng)載物臺(tái)套件應(yīng)用*1

    OLS50-S-MSP

     

    高級(jí)分析應(yīng)用*2

    OLS50-S-AA

     

    薄膜厚度測(cè)量應(yīng)用

    OLS50-S-FT

     

    自動(dòng)邊緣測(cè)量應(yīng)用

    OLS50-S-ED

     

    顆粒物分析應(yīng)用

    OLS50-S-PA

     

    智能實(shí)驗(yàn)管理助手應(yīng)用

    OLS51-S-ETA

     

    球體/圓柱體表面角度分析應(yīng)用

    OLS50-S-SA



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