| 參考價 | 面議 |
MX51工業(yè)檢測顯微鏡?緊湊的設(shè)計實現(xiàn)最小的占地空間?鏡臂部分和鏡體分開,使高的樣品觀察成為可能?標配158×158mm手動移動載物臺(可用于200mm晶圓檢查)?選配長工作距離物鏡,極大方便磁頭檢查?采用防靜電設(shè)計
? 緊湊的設(shè)計實現(xiàn)最小的占地空間
? 鏡臂部分和鏡體分開, 使高的樣品觀察成為可能
? 標配158×158mm手動移動載物臺(可用于200mm晶圓檢查)
? 選配長工作距離物鏡, 極大方便磁頭檢查
? 采用防靜電設(shè)計建設項目，極大方便磁頭檢查
? 提高系統(tǒng)靈活性和操作舒適性，滿足SEMI S2/S8標準
| 光學系統(tǒng) | UIS2光學系統(tǒng)（無限遠校正光學系統(tǒng)） | ||
| 顯微鏡鏡體 | Z軸同軸粗微調(diào)調(diào)焦落實落細，載物臺行程范圍：32 mm（從焦面上行2 mm和下行30 mm） 行程相同：15 mm（配合透射光照明） Z軸微調(diào)焦每旋轉(zhuǎn)一周的行程0.1 mm（1個單位1 μm） 調(diào)焦機構(gòu)張力可調(diào) 有調(diào)焦上限位機構(gòu) | ||
| 照明系統(tǒng) | BX-KMA 明視場照明器 | BX-RLA2 明視場/暗視場照明器 | |
| 觀察方式轉(zhuǎn)換 | — | 明視場-暗視場滑塊轉(zhuǎn)換法 | |
| 可適用觀測模式 | ①明視場法 ②DIC微分干涉襯比法 ③偏振光照明法 | ①明視場法 ②暗視場法 ③DIC微分干涉襯比法 ④偏振光照明法 ⑤紅外光 | |
| 光源 | 6V30W瓦鹵素燈 燈座: U-LS30-4 變壓器: TL-4 | 12V100W瓦鹵素燈 燈座: U-LH100L-3 電源整合在MX51顯微鏡中 | |
| 透射照明 | 明視場MX-TILLK照明燈相結合，配備光纖照明附件（MX-TILLK須與MX-SIC6R2配合使用） | ||
| 觀察鏡筒 | U-BI30-2 寬場雙目鏡筒， U-TR30-2 寬場三目鏡筒製高點項目， U-ETR3 寬場正像三目鏡筒(F.N. 22)為產業發展，U-SWTR 超寬場三目鏡筒，MX-SWETTR 超寬場正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5) | ||
| 物鏡換鏡轉(zhuǎn)盤 | U-5RE-2, U-6RE U-D5BDRE, U-D6BDRE, U-P5BDRE (帶有微粉干涉襯比法棱鏡滑槽) | ||
| 載物臺 | U-SIC4R2/SIC4L2同軸右/左手控制4英寸×4英寸載物臺 MX-SIC6R2同軸右/左手控制6英寸×6英寸載物臺 | ||
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