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在線厚度測量系統(tǒng)F30

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F30系列在線厚度測量系統(tǒng)是監(jiān)控薄膜沉積有力的工具,能實時測量沉積率去創新、沉積層厚度足夠的實力、光學常數(shù)(n和k值)和半導體以及電介質(zhì)層的均勻性

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     F30 系列在線厚度測量系統(tǒng)是監(jiān)控薄膜沉積有力的工具,能實時測量沉積率結構、沉積層厚度更適合、光學常數(shù) (n 和 k 值) 和半導體以及電介質(zhì)層的均勻性。在分子束外延和金屬有機化學氣相沉積鍍膜中溝通協調,F(xiàn)30可以測量平滑和半透明的要素配置改革,或輕度吸收的薄膜,這實際上已經(jīng)包括了從氮化鎵鋁到鎵銦磷砷的任何半導體材料帶動擴大。

     F32則可以配置多個探頭核心技術體系,最多可在四個不同位置同時測量薄膜的厚度開拓創新,軟件和測量結(jié)果可以通過設備上的數(shù)字I/O接口進行控制和采集持續發展,F(xiàn)32是一款非常適合集成在自動化生產(chǎn)線的膜厚測量設備。


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