MT-300AH工具金相顯微鏡是蘇州卡斯圖電子有限公司根據(jù)半導(dǎo)體客戶(hù)研發(fā)的一款高精度測(cè)量設(shè)備。使測(cè)量物體準(zhǔn)確的對(duì)準(zhǔn)樣品邊緣是很重要的自行開發，本設(shè)備采用新進(jìn)的光學(xué)設(shè)計(jì)進行部署，保證了G質(zhì)量的邊緣檢測(cè)和顯微檢測(cè)。在直線校準(zhǔn)中應用情況，采用夾線和叉線進(jìn)行觀測(cè)利用好，比單純使用一個(gè)直線進(jìn)行觀測(cè)所獲得的結(jié)果更為準(zhǔn)確。在主機(jī)設(shè)計(jì)方面解決問題，我們致力于增強(qiáng)它與操作人員之間的親和性以及操作的舒適性。此外作用，我們還采用了抗疲勞設(shè)計(jì)相互配合，操作人員即使長(zhǎng)時(shí)間使用，也不會(huì)感到疲勞和不適著力增加。新近研發(fā)的FA照明器具有分光棱鏡輔助對(duì)焦功能智能化，可提供更銳利的圖案∩钊?？稍赯軸測(cè)量期間提供精準(zhǔn)對(duì)焦技術研究，由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測(cè)量誤差被降到Z低。兩側(cè)均配備了同軸粗/微調(diào)手輪開展研究，以Z快速度實(shí)現(xiàn)對(duì)焦姿勢，儀器內(nèi)置高精度光柵尺，可進(jìn)行準(zhǔn)確的3軸測(cè)量首要任務。
特征及優(yōu)勢(shì)
■ 配置完善綠色化，測(cè)量精準(zhǔn)
■ 平臺(tái)可快速移動(dòng)，方便大尺寸產(chǎn)品測(cè)量
■ 符合人體設(shè)計(jì)的光學(xué)觀察
■ 測(cè)量數(shù)值實(shí)時(shí)顯示
■ 主機(jī)臺(tái)快速測(cè)量發展，電腦端同步展示
■ 便捷強(qiáng)大的測(cè)量分析軟件
■ 可選配晶圓臺(tái)
■ 校準(zhǔn)和線性檢測(cè)
■ 包含獨(dú)立儀器桌保持穩定、臺(tái)式電腦、鍵盤(pán)面向、鼠標(biāo)和 22英寸的顯示器
■ 標(biāo)準(zhǔn)尺
儀 器 型 號(hào) | MT-200AH | MT-300AH | MT-400AH |
工 作 臺(tái) | 鑄鐵臺(tái)尺寸(mm) | 356×266 | 487×367 | 606×476 |
玻璃臺(tái)尺寸(mm) | 260×160 | 345×245 | 445×345 |
運(yùn)動(dòng)行程(mm) | 200(X)×150(Y) | 300(X)×200(Y) | 400(X)×300(Y) |
調(diào)焦行程(mm) | 100 | 100 | 150 |
放大倍數(shù)與攝像系統(tǒng) | 500萬(wàn)像素工業(yè)相機(jī)支撐作用，可拍照可測(cè)量 |
物鏡5X，10X建設項目，20X最為突出，50X （100選配） 目鏡：10X/20 |
X軸/Y軸顯示精度：0.0001mm Z軸顯示精度：0.0001MM |
總放大倍數(shù)50X-500X |
示值誤差 | X.Y≤(2.5+L/200)um | Z≤(3.5+L/50)um(L為被測(cè)長(zhǎng)度單位:mm) |
照明系統(tǒng) | LED環(huán)形表面光+底部平行光 |
外形尺寸(mm) (長(zhǎng)×寬×高) | 600×550×780 | 760×580×820 | 970×750×1000 |
承重 | 20kg | 20kg | 25kg |
儀器重量（kg） | 150kg | 170kg | 200kg |
儀器電源 | 220V（AC） 50HZ |
由于微觀結(jié)構(gòu)檢測(cè)趨于細(xì)微化，不僅要滿(mǎn)足觀察和測(cè)量這一生產(chǎn)和質(zhì)量管理原則講道理，而且測(cè)量顯微鏡同時(shí)對(duì)其精度要求也越來(lái)越高
蘇州卡斯圖電子有限公司工具金相顯微鏡型號(hào)：MT200AH,MT300AH,MT400AH,MT500AH發展目標奮鬥。
人體工程設(shè)計(jì)
在顯微鏡主機(jī)設(shè)計(jì)方面技術先進，我們致力于增強(qiáng)它與操作人員之間的親和力以及操作的舒適性。其儀器設(shè)計(jì)十分便于操作延伸。此外認為，它還采用了抗體疲勞設(shè)計(jì)，操作人員及時(shí)長(zhǎng)時(shí)間使用新趨勢，也不會(huì)感到疲勞和不適反應能力。
輔助對(duì)焦
新近研發(fā)的FA照明器具有分光棱鏡輔助對(duì)焦功能，可提供更銳利的圖案學習〗Y構重塑？稍赯軸測(cè)量期間提供準(zhǔn)確對(duì)焦，由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測(cè)量誤差被降到Z低應用優勢。
