檢查大型樣品的自動(dòng)化過(guò)程-與潔凈室兼容高質量。
檢查微型MEMS傳感器，XXL晶片和所有介于兩者之間的東西激發創作。
*大試件尺寸為300 × 300mm前景，*大試件厚度為254 mm，這是分析大型試件的無(wú)損方法增幅最大。
立柱設(shè)計(jì)確保了穩(wěn)定性共享應用。
在您的潔凈室檢查晶圓:Axio Imager Vario是DIN EN ISO 14644-1認(rèn)證，并滿(mǎn)足潔凈室等級(jí)ISO 5的要求最新。
與電動(dòng)z軸驅(qū)動(dòng)和自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)技術創新，你可以帶來(lái)低對(duì)比度，反射標(biāo)本到*的焦點(diǎn)重要作用。
這每次都會(huì)產(chǎn)生*佳結(jié)果持續向好。
根據(jù)您的需求配置
顯微鏡
Axio成像儀。
A2 Vario(手動(dòng)充足，編碼)
Axio成像儀進展情況。
Z2 Vario(可電動(dòng)化)
Axio成像儀的積極性。
Z2 Vario(沒(méi)有炮塔焦點(diǎn))
照明方法
反射光:亮場(chǎng)、暗場(chǎng)至關重要、DIC十大行動、C-DIC、偏振背景下、
熒光
透射光:亮場(chǎng)、暗場(chǎng)可靠保障、DIC自然條件、PlasDIC、偏振開展、相位對(duì)比
照明
反射光:LED互動互補，鹵素，HBO, XBO
透射光:LED意向、鹵素
配件
自動(dòng)對(duì)焦意料之外，線(xiàn)性傳感器，手動(dòng)和電動(dòng)舞臺(tái)
簡(jiǎn)單形式。更聰明置之不顧。更多的集成。

?利用*大試件尺寸為300 × 300mm和令人印象深刻的*大試件厚度為254 mm進(jìn)行無(wú)損分析數字化。
?無(wú)論是處理沉重的樣品或與LSM 700激光掃描顯微鏡結(jié)合工作方便，堅(jiān)固的柱設(shè)計(jì)提供穩(wěn)定，您可以依賴(lài)和防止振動(dòng)各領域。
?axio Imager Vario是DIN EN ISO 14644-1認(rèn)證應用領域，與一個(gè)潔凈室套件，滿(mǎn)足潔凈室等級(jí)ISO 5的要求進行培訓。
?用于檢測(cè)反光發展機遇，低對(duì)比度的樣本表面，配備Axio Imager Vario快速和*效的自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)物聯與互聯。
然后穩定，即使你*大的標(biāo)本將保持*的焦點(diǎn)沿X和y軸移動(dòng)。
為您的應(yīng)用程序創(chuàng)建
?由于廣泛的旅行范圍紮實，您可以檢查太陽(yáng)能電池表面的均勻性和微裂紋效高化。
?使用潔凈室套件和自動(dòng)對(duì)焦來(lái)識(shí)別晶圓上的顆粒、劃痕和缺陷投入力度。
?識(shí)別TFT顯示器在反射和透射光下的像素缺陷創造。
?用光罩支架檢查光罩是否有過(guò)量的鉻膜和顆粒。