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AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)_晶圓搬運(yùn)_國(guó)產(chǎn)晶圓搬送機(jī)

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全新半導(dǎo)體工業(yè)檢測(cè)產(chǎn)品——AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)助力各行,兼具穩(wěn)定性和安全性,能夠安全可靠的傳送晶圓自主研發,適合于前道到后道工程的晶圓檢查確定性。

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全新半導(dǎo)體工業(yè)檢測(cè)產(chǎn)品——AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)更加廣闊,兼具穩(wěn)定性和安全性,能夠安全可靠的傳送晶圓講故事,適合于前道到后道工程的晶圓檢查非常完善。
◆ 一個(gè)晶圓在經(jīng)過(guò)一系列復(fù)雜工序后最終變成多個(gè)IC單元,期間晶圓需要依賴晶圓搬運(yùn)機(jī)在處理站之間執(zhí)行快速全面革新、精確的傳送作業(yè)作用。納米級(jí)厚度的晶圓很容易在傳送過(guò)程中損壞,而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污建設項目、缺陷等最為突出。

推出了AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)(晶圓搬送機(jī)),擁有 AWL046相結合、AWL068高效化、AWL812三種機(jī)型,多類配置分別可適用于 4/6 英寸為產業發展,6/8英寸範圍和領域、8/12英寸的晶圓檢測(cè),適應(yīng)范圍廣各項要求、搭配靈活 更高要求。

◆AWL系列可自由設(shè)置的檢查模式,充分符合人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)新技術,操作舒適共同學習、簡(jiǎn)便,又可稱作晶圓自動(dòng)搬送機(jī)聽得懂。

◆360°宏觀檢查
AWL系列具有宏觀檢查手臂應用優勢,可以實(shí)現(xiàn)晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉(zhuǎn)全方位,更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵高效節能。通過(guò)操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面傾斜角度70°大局,晶背 1 傾斜角度 90°新創新即將到來,晶背 2傾斜角度 160°,利用旋轉(zhuǎn)功能有序推進、傾斜角度設施,可以目視檢查整個(gè)晶圓正反面及邊緣。


 
◆人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)
LCD 顯示屏堅定不移,可為操作者提供更直觀的視覺(jué)體驗(yàn)組合運用,可清晰的顯示當(dāng)前檢查項(xiàng)目及次序,調(diào)試參數(shù)一目了然。手動(dòng)快速釋放真空載物臺(tái)可提高操作者的舒適度和工作效率積極,充分體現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)晶圓搬送機(jī)的人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)理念探索。


◆精密微觀檢查
采用專業(yè)半復(fù)消色差金相物鏡,可滿足明場(chǎng)產業、暗場(chǎng)滿意度、DIC、偏光等多種觀察方式能力建設。全新電動(dòng)控制系統(tǒng)模樣,可排查 μm 級(jí)異常,諸如孔未開(kāi)出服務,短路很重要,斷路,沾污大型,氣泡服務效率,殘留等。



應(yīng)用領(lǐng)域:




主要技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

AWL046

AWL068

AWL812

晶圓尺寸

100mm / 150mm

150mm / 200mm

200mm / 300mm

晶圓最小厚度

150um

150um / 180um

180um / 250um

晶舟類型

Open Cassette

Open Cassette / FOUP重要意義、FOSB

檢查模式設(shè)置

全檢 / 奇數(shù)檢 / 偶數(shù)檢 / 手動(dòng)選擇

晶舟掃描(有 / 無(wú) / 斜片)

晶舟內(nèi)凸片偵測(cè)報(bào)警

≥4mm

≥5mm

晶圓預(yù)定位(平邊統籌發展、Notch)

朝向設(shè)置(平邊、Notch)

非接觸式定位平邊體系、Notch生產製造,支持0°、90°攜手共進、180°共同、270°朝向設(shè)置

檢查功能

晶面宏檢(旋轉(zhuǎn))、晶背宏檢1(外圈經過、旋轉(zhuǎn))簡單化、晶背宏檢2(中心)

晶面宏檢(旋轉(zhuǎn))、晶背宏檢1(外圈)明確了方向、晶背宏檢2(中心)

外觀尺寸(W*D*H)

1450*700*1600mm

1550*700*1600mm

2400*1400*2450mm

電源需求

1P / 220V / 10A

1P / 220V / 16A

真空需求(負(fù)壓 / 正壓)

-70KPA ~ -80KPA

-70KPA ~ -80KPA / 0.5MPA

適用顯微鏡

6RC/8RC金相顯微鏡

光學(xué)系統(tǒng)

無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)系統性,放大倍率50X-1000X

觀察方式

明場(chǎng)、暗場(chǎng)單產提升、偏光傳遞、DIC

目鏡

高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X22mm,可帶視度可調(diào)勞動精神,可帶測(cè)微尺

高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X25mm開展攻關合作,可帶視度可調(diào),可帶測(cè)微尺

觀察頭

鉸鏈三目觀察筒預下達,5-35度傾角可調(diào)的有效手段,正像,瞳距調(diào)節(jié)范圍:50-76mm,兩檔式分光比應用情況,雙目:三目=100:0示範,0:100

鉸鏈三目觀察筒,0-35度傾角可調(diào)有很大提升空間,正像,瞳距調(diào)節(jié)范圍:50-76mm首次,兩檔式分光比可能性更大,雙目:三目=100:0,0:100

物鏡

長(zhǎng)工作距平場(chǎng)明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡 5X / 10X / 20X / 50X / 100X

轉(zhuǎn)換器

明暗場(chǎng)6孔電動(dòng)轉(zhuǎn)換器(帶DIC插槽)

機(jī)架

反射式機(jī)架搖籃,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)技術,粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm推動,帶有防止下滑的松緊調(diào)節(jié)裝置和隨機(jī)上限位裝置相對較高,內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)

明暗場(chǎng)反射照明器,帶視場(chǎng)光闌信息,可變電動(dòng)孔徑光闌相關,帶明暗場(chǎng)切換裝置,帶濾色片插槽與偏光裝置插槽豐富內涵,帶12V10W LED光源控制部件

明暗場(chǎng)反射照明器生產效率,帶視場(chǎng)光闌,可變電動(dòng)孔徑光闌適應性,帶明暗場(chǎng)切換裝置節點,帶濾色片及偏光裝置插槽,帶12V10W LED燈箱

載物臺(tái)

6英寸機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)落地生根,低手位X的特點、Y方向同軸調(diào)節(jié),晶圓承片臺(tái)臺(tái)面φ38mm有效保障,可360°旋轉(zhuǎn)大數據,移動(dòng)行程228mm(X方向)×170mm(Y方向),觀察范圍:170mmX170mm相結合,帶離合器手柄

8英寸機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)高效化,低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)為產業發展,晶圓承片臺(tái)臺(tái)面φ60mm範圍和領域,可360°旋轉(zhuǎn),移動(dòng)行程280mm(X方向)×210mm(Y方向)各項要求,觀察范圍:210mm×210mm特征更加明顯,帶離合器手柄

12英寸自動(dòng)平臺(tái),X、Y的可能性、Z不要畏懼、φ多方向調(diào)節(jié),晶圓承片臺(tái)臺(tái)面φ70mm問題,可360°旋轉(zhuǎn)逐漸顯現,移動(dòng)行程600mm(X方向)×500mm(Y方向),觀察范圍:310mm×310mm系統穩定性,φ方向可±5度旋轉(zhuǎn)拓展基地,各軸運(yùn)動(dòng)速度可以高低速切換

其他

濾色片插板、起/檢偏鏡插板實力增強、DIC組件體系流動性、攝像接口、調(diào)整平臺(tái)帶來全新智能、相機(jī)實現了超越、專業(yè)晶圓檢查軟件等

 


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