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低頻噪聲測試系統(tǒng)9812DX

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概倫電子噪聲測試系統(tǒng)9812系列是半導體行業(yè)業(yè)內低頻噪聲測試的“黃金標準”開展攻關合作。型號9812DX 作為9812B 和9812D 的增強版,為半導體行業(yè)工藝研發(fā)預下達、器件建模和電路設計提供了更加完整而又高效的低頻噪聲測試及分析解決方案的有效手段,可以滿足各種不同工藝平臺下半導體器件和集成電路低頻噪聲測試的需求。

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概倫電子噪聲測試系統(tǒng)9812系列是半導體行業(yè)業(yè)內低頻噪聲測試的“黃金標準”方案。型號9812DX 作為9812B 和9812D 的增強版關鍵技術,為半導體行業(yè)工藝研發(fā)、器件建模和電路設計提供了更加完整而又高效的低頻噪聲測試及分析解決方案深入,可以滿足各種不同工藝平臺下半導體器件和集成電路低頻噪聲測試的需求技術研究。

  9812DX 作為單一完整的低頻噪聲測試系統(tǒng),支持全面的半導體器件種類在多種測試條件下的高精度噪聲測試開展研究,提供了很高的晶圓級噪聲測試精度和測試帶寬姿勢,該型號的測試精度較之前的9812D 提高了一個數(shù)量級,測試噪聲電流精度低至10-27A2/Hz首要任務,其測試能力覆蓋非常廣泛綠色化,是市面少有的從10Ω到10MΩ 可同時覆蓋高阻抗器件和低阻抗器件測試能力的設備。

  針對半導體工藝制程節(jié)點特別是FinFET 工藝下對低頻噪聲測試需求“爆炸式”增長的挑戰(zhàn)發展,通過軟硬件創(chuàng)新設計保持穩定,9812DX 不但使典型噪聲測試速度提高至一個偏置條件僅需10s,還將測試電壓提高到200V 從而使得適用應用場景更加廣泛面向。該系統(tǒng)可在短時間內獲得更加精確可信的測試數(shù)據(jù)支撐作用,另外還可以通過并行測試架構解決方案以及協(xié)同F(xiàn)S-Pro 半導體參數(shù)測試系統(tǒng)等方式大幅度的提高了測試效率和吞吐量研學體驗。

  目前,9812DX 已被眾多半導體代工廠所采用最為突出,繼9812B/D 后成為低頻噪聲測試領域新一代的“黃金標準”近年來,被用于28nm,14nm, 10nm, 7nm 和5nm 等各工藝節(jié)點的工藝研發(fā)和集成電路設計。


產品優(yōu)勢

應用范圍:

● 已被眾多半導體公司所采用的標準測試系統(tǒng)

● 產品歷史超過十年

功能:

● 1/f 噪聲測試與特性分析發展目標奮鬥、RTN 測試與特性分析

● 任意待測類型技術先進,晶圓級高精度和測試帶寬

● 寬電壓、寬電流延伸、寬阻抗測量范圍

系統(tǒng)架構:

● 系統(tǒng)體系架構經過行業(yè)認可并不斷完善認為,可靠性好和精度高

支持并行測試:

● 經過業(yè)界客戶嚴苛驗證并認可的在高精度下高測試吞吐率和并行測試能力


硬件規(guī)格

寬量程器件端電壓和電流: 200V, 200mA
高精度DC 電流精度: 10pA、系統(tǒng)噪聲電流精度: <10-27a2>
測試速度典型1/f 噪聲測試速度可達10 秒/bias
抗阻范圍

阻抗匹配范圍: 10Ω-10 MΩ

Gate/Base 電阻多達17 個選擇

Drain/Collector 電阻多達15 個選

系統(tǒng)參數(shù)

電壓放大器: <0.03-10mhz,>

電流放大器: <0.03-1mhz,0.7pa>

可編程偏置濾波器, ESD 保護

內置16 位DSA

支持多臺并行測試

RTN測試樣本點960K個


軟件規(guī)格

9812DX 系列內置NoiseProPlus 測量軟件具有強大的低頻噪聲測試和分析功能大數據,該軟件具有下列主要功能:

● 軟件界面友好易操作長效機製,同時滿足測試控制、圖形顯示和數(shù)據(jù)分析需求

● 支持1/f 噪聲和RTN 噪聲測試 數字技術,具有專業(yè)的數(shù)據(jù)分析功能

● 測試結果可導出供用戶后續(xù)分析研究奮戰不懈,測試數(shù)據(jù)可直接導入

● 建模軟件BSIMProPlus 和MeQLab 進行噪聲模型提取和特性分析

● 支持多種模式、多種器件在不同偏置下的手動/自動測試

● 支持驅動Keysight/Keithley 等各型號主流測試儀

● 支持驅動 Cascade/SUSS/MPI 等各型號Prober 實現(xiàn)手動及全自動測試


應用實例



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