JSM-6510 JSM-6510系列主要特點(diǎn)：
1.保證分辨率 (Resolution)
鎢燈絲電子槍時(shí)高真空模式：3.0nm（30kV）, 8.0nm（3kV），15nm（1kV）
低真空模式：4.0nm（30kV）（選項(xiàng)）
JSM-6510系列既有高加速電壓下的高分辨率穩定發展，也有低加速電壓下高分辨率基石之一。
2.全自動(dòng)電子槍 (Fully Automated Electron Gun)
當(dāng)真空度達(dá)到要求后，只需按下HT按鈕增持能力，從加速電壓的提升共同努力，到圖像的出現(xiàn)全部自動(dòng)完成行業內卷。自動(dòng)功能包括：自動(dòng)電子槍加熱、無縫自動(dòng)偏壓逐漸完善、自動(dòng)合軸能力和水平、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)適時(shí)聚焦異常狀況、自動(dòng)亮度、自動(dòng)對(duì)比度高效、自動(dòng)消像散應用創新、自動(dòng)像散記憶等。
3.無縫自動(dòng)偏壓（Seamless automatic bias）
在全加速電壓范圍（包含低加速電壓范圍）內(nèi)機構，實(shí)現(xiàn)無縫自動(dòng)偏壓的特性，圖像亮度、信噪比優(yōu)化基礎，即使在低電壓時(shí)提供堅實支撐，圖像質(zhì)量也大大提高。
4.大視野觀察范圍（Large Field of View）
倍數(shù)為5倍高產，可觀測到2厘米見方的樣品信息化技術，便于查找觀察位置。
5.圖象電氣移動(dòng)距離大（Large Electrical Image Shift）
圖象電氣移動(dòng)距離大：+/-50μm良好，WD=10mm逐步顯現。
6.高性能的變焦聚光鏡系統(tǒng) (Precision Zoom Condenser lens) （）
照射電流發(fā)生變化時(shí)，保障以下三個(gè)功能：a引領，圖像始終適時(shí)聚焦（不需重復(fù)按自動(dòng)聚焦鍵）自動化裝置；b，圖象襯度及分辨率自動(dòng)化應用前景；c有很大提升空間，視野中心基本不發(fā)生變動(dòng)。
7.能勝任大WD的超級(jí)圓錐形物鏡 (Super Conical Objective Lens)
在較大WD下仍能實(shí)現(xiàn)高分辨激發創作，如在能譜儀工作位置WD=10mm時(shí)前景，既能分析還可以高分辨觀察；由于該物鏡特性提升，粗糙表面樣品也可以獲得大景深清晰圖象大大提高。
8.高感度半導(dǎo)體背散射電子探頭 (High sensitivity semiconductor detector) （選項(xiàng)）
該探頭感度很高，并能提供三種成像：成分像研究成果、形貌像和立體像取得了一定進展。其中的立體像不僅立體感強(qiáng)，更實(shí)現(xiàn)了組成信息立體化顯示（）大面積。
9.多幅活圖像同時(shí)顯示 （Multi Live Image Display）
二次電子探頭積極參與、背散射電子探頭（選項(xiàng)）問題分析、STEM探頭（選項(xiàng)）裝配上時(shí)，它們的活圖像可同時(shí)顯示交流研討，觀察的方式和組合形式可進(jìn)行多樣選擇更加完善。
10. 操作導(dǎo)航器（Operation navigator）
引導(dǎo)和提示操作流程。維護(hù)作業(yè)動(dòng)畫導(dǎo)航建設應用。
11.全對(duì)中優(yōu)中心樣品臺(tái) (Eucentric Stage)
該樣品臺(tái)能保證樣品平移支撐作用、斜移或傾斜時(shí)，實(shí)現(xiàn)優(yōu)中心動(dòng)作動力，聚焦?fàn)顟B(tài)保持不變,而且該性能在WD=5mm~48mm全范圍均可以實(shí)現(xiàn)同時。
12.分子泵真空系統(tǒng)或油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng) （TMP System or DP System）
電鏡的高真空系統(tǒng)可按要求配置油擴(kuò)散泵+機(jī)械泵，或者分子泵+機(jī)械泵效高性。(選項(xiàng))
13.低真空功能 (Low Vacuum SEM)(選項(xiàng))
對(duì)于非導(dǎo)電性樣品或者導(dǎo)電性差的樣品模式，采用低真空環(huán)境可以減緩樣品的放電效應(yīng)。
低真空范圍：10Pa – 270Pa提升，低真空系統(tǒng)為獨(dú)立真空系統(tǒng)高品質，標(biāo)配低真空防污染前置阱。
14.各種選項(xiàng)探測探頭(Variety of Detectors Mounted)
可以選配高感度半導(dǎo)體背散射探頭支撐能力、能譜儀資源優勢、波譜儀、EBSD探頭特征更加明顯、紅外相機(jī)長效機製、低真空二次電子探頭等。搭配JEOL能譜儀時(shí)數字技術，可實(shí)現(xiàn)掃描電鏡和能譜儀一體化控制營造一處。
