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MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)經(jīng)過優(yōu)化交流等，適用于尺寸300 mm的晶圓、平板顯示器規劃、電路板以及其他大尺寸樣品的高質(zhì)量檢測提高。其采用的模塊化設計使您能夠選擇需要的組件，獲得根據(jù)應用定制的系統(tǒng)進入當下。
讓您的大尺寸樣品檢測流程更加順暢
MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)經(jīng)過優(yōu)化紮實，適用于尺寸300 mm的晶圓、平板顯示器新體系、電路板以及其他大尺寸樣品的高質(zhì)量檢測投入力度。其采用的模塊化設計使您能夠選擇需要的組件，獲得根據(jù)應用定制的系統(tǒng)不難發現。
這兩款符合人體工學設計且人性化的顯微鏡有助于在提高工作效率的同時貢獻法治，保持檢測員的工作舒適性。與PRECiV圖像分析軟件結(jié)合使用時發展需要，可以簡化從觀察到報告創(chuàng)建的整個工作流程攻堅克難。
的分析工具
MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M行可靠的缺陷檢測重要組成部分。全新照明技術(shù)和PRECiV圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和記錄結(jié)果提供了更多選擇流程。
從不可見到可見：MIX觀察和圖像采集
MIX觀察技術(shù)通過將暗場與明場合作、熒光或偏振光等其他觀察方法相結(jié)合，生成的觀察圖像助力各業。MIX觀察技術(shù)使用戶能夠查看使用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷極致用戶體驗。暗場觀察所用的環(huán)形LED照明器具有在時間僅使用一個象限的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈應用，對于樣品表面紋理的可視化非常有用建議。
輕松生成全景圖像：即時MIA
使用多圖像拼接（MIA）功能時，用戶只需轉(zhuǎn)動手動載物臺上的KY旋鈕臺上與臺下，即可快速輕松完成圖像拼接 — 電動載物臺無需進行該操作用的舒心。PRECiV軟件采用模式識別生成全景圖像，讓用戶獲得更寬的視場集聚效應。
利用HDR同時采集明亮區(qū)域和暗光區(qū)域
采用圖像處理技術(shù)的高動態(tài)范圍（HDR）可調(diào)整圖像內(nèi)的亮度差異能運用，從而減少眩光達到。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺品質(zhì)，有助于生成具有專業(yè)級外觀的報告不可缺少。
從基本測量到高級分析
測量對于質(zhì)量蓬勃發展、工藝控制和檢測至關(guān)重要。鑒于這一點積極回應，即便是入門級PRECiV軟件包也融入了交互式測量功能的全部菜單重要性，并且所有測量結(jié)果都與圖像文件一起保存以便存檔。此外多種場景，PRECiV材料解決方案還為復雜圖像分析提供面向工作流程的直觀界面多元化服務體系。只需單擊一下按鈕，即可快速精準執(zhí)行圖像分析任務擴大公共數據。由于大幅縮減了重復任務的處理時間深度，操作員可以專注于手頭的檢測工作。
高效的報告創(chuàng)建
與圖像采集和測量相比重要平臺，創(chuàng)建報告通常需要花費更長的時間深刻認識。PRECiV軟件提供了直觀的報告創(chuàng)建功能，可以根據(jù)預定義的模板多次生成智能更適合、復雜的報告高效。編輯操作非常簡單溝通協調，報告可導出為Microsoft Word或PowerPoint文件。此外體系，PRECiV軟件的報告功能可對采集的圖像進行數(shù)字變焦和倍率放大保障性。報告文件大小適中，更便于通過電子郵件進行數(shù)據(jù)交換責任製。
| MX63 | MX63L | ||
| 光學系統(tǒng) | UIS2光學系統(tǒng)（無限遠校正系統(tǒng)） | ||
| 顯微鏡鏡架 | 反射光照明 | 白光LED（帶光強度管理器）12 V 100 W鹵素燈十分落實，100W汞燈，光導 明場/暗場/反射鏡分光鏡組件手動切換規則製定。（反射鏡分光鏡組件為選配件製造業。） 通過手動操作調(diào)整3位編碼分光鏡組件 內(nèi)置電動孔徑光闌（針對所有物鏡預設，暗場自動打開） 觀察模式：明場關規定、暗場發展基礎、微分干涉對比度（DIC）*1、簡易偏振光*1建強保護、熒光*1同期、紅外和MIX觀察（4個定向暗場）*2 *1 選配分光鏡組件，*2 需使用MIX觀察配置 | |
| 透射光照明 | 透射光照明裝置：需使用MX-TILA或MX-TILLB使命責任。 - MX-TILLA：聚光鏡（數(shù)值孔徑 0.5）和孔徑光闌 - MX-TILLB：聚光鏡（數(shù)值孔徑 0.6）效果、孔徑光闌和視場光闌 光源：LG-LSLED（LED光源）光導：LG-SF 觀察模式：明場、簡易偏振光 | ||
| 對焦 | 行程：32 mm 每轉(zhuǎn)行程微調(diào)：100 μm 最小分度：1 μm 配上限限位器和粗調(diào)手柄扭矩調(diào)節(jié) | ||
| 載荷重量（包括載物臺和支架） | 8 kg | 15 kg | |
| 觀察筒 | 寬視場（FN 22 mm） | 正像三目鏡筒：U-ETR4 正像可調(diào)傾角三目鏡筒：U-TTR-2 倒像三目鏡筒：U-TR30-2合規意識、U-TR30IR（用于紅外觀察） 倒置雙目鏡筒：U-BI30-2 倒像可調(diào)傾角雙目鏡筒：U-TBI30 | |
| 超寬視場（FN 26.5 mm） | 正像可調(diào)傾角三目鏡筒：MX-SWETTR（光程切換99% [目鏡]：0 [相機] 或0：99%） 正像可調(diào)傾角三目鏡筒：U-SWETTR（光程切換99% [目鏡]：0 [相機] 或20%：80%） 倒像三目鏡筒：U-SWTR-3 | ||
| 電動物鏡轉(zhuǎn)換器 | 明場 明場和暗場 | ||
| 載物臺（X x Y） | 帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄：MX-SIC8R 帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄：MX-SIC6R2 | 帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄：MX-SIC1412R2 行程：356 x 305 mm 透射光照明區(qū)域：356 x 284 mm | |
| 重量 | 約35.6kg（顯微鏡鏡架26kg） | 約44kg（顯微鏡鏡架28.5kg） | |
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