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奧林巴斯MX-IR/BX-IR透視近紅外顯微鏡

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MX-IR/BX-IR透視近紅外顯微鏡詳細(xì)介紹:非破壞觀(guān)察半導(dǎo)體器件內(nèi)部隨著不斷發(fā)展的電子設(shè)備小型化、超薄化的需求去完善,半導(dǎo)體器件的封裝技術(shù)也高速進(jìn)化

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MX-IR / BX-IR透視近紅外顯微鏡詳細(xì)介紹:

非破壞觀(guān)察半導(dǎo)體器件內(nèi)部
隨著不斷發(fā)展的電子設(shè)備小型化橋梁作用、超薄化的需求,半導(dǎo)體器件的封裝技術(shù)也高速進(jìn)化求索。使用近紅外線(xiàn)顯微鏡讓人糾結,可以對(duì)SiP(System in Package)、三維組裝穩定發展、CSP(Chip Size Package)等用可視觀(guān)察無(wú)法看到的領(lǐng)域進(jìn)行無(wú)損檢查和分析基石之一。
倒裝芯片封裝的不良狀況無(wú)損分析 
在倒裝芯片的焊接中,組裝后的焊接部分和模塊無(wú)法用可見(jiàn)光檢查。但是共同努力,如果使用近紅外線(xiàn)顯微鏡行業內卷,則可以在不破壞封裝的前提下,透過(guò)硅觀(guān)察IC芯片內(nèi)部逐漸完善。只要置于顯微鏡下參與能力,就可以輕松進(jìn)行不良狀況分析。對(duì)必需用FIB(Focused Ion Beam)處理位置的也有效是目前主流。 
晶圓級(jí)CSP開(kāi)發(fā)的環(huán)境試驗(yàn)導(dǎo)致芯片損壞 
晶圓級(jí)CSP的高溫高濕試驗(yàn)導(dǎo)致器件的變化充分發揮,可以用非接觸方式檢查。此外充分發揮,還能可靠的觀(guān)察銅引線(xiàn)部分的融解和腐蝕引起的漏電選擇適用、樹(shù)脂部分的剝離等。


鋁引線(xiàn)部分(內(nèi)面觀(guān)察)

焊錫溢出性評(píng)價(jià)

電極部分(內(nèi)面觀(guān)察)
針對(duì)不同樣品的顯微鏡產(chǎn)品陣容 
MX系列產(chǎn)品(半導(dǎo)體檢查型號(hào)) 

可以用來(lái)觀(guān)察150~300 mm晶圓等的大型樣品推動並實現。只對(duì)應(yīng)反射照明觀(guān)察薄弱點。 


半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡 MX61

工業(yè)檢查顯微鏡 MX51
BX系列產(chǎn)品(標(biāo)準(zhǔn)型號(hào))

研究級(jí)全電動(dòng)系統(tǒng) 
金相顯微鏡 BX61
對(duì)應(yīng)反射光觀(guān)察和透射光觀(guān)察。
BXFM(嵌入式設(shè)備型號(hào)) 
 

                           
小型系統(tǒng)顯微鏡 BXFM


 
技術(shù)規(guī)格:
將專(zhuān)用物鏡等近紅外線(xiàn)觀(guān)察裝置搭載于顯微鏡上信息化,就可以組成紅外線(xiàn)觀(guān)察顯微鏡形勢。 
有關(guān)對(duì)應(yīng)的顯微鏡規(guī)格,請(qǐng)參閱各顯微鏡的具體規(guī)格說(shuō)明取得明顯成效。
 
LMPlan-IR紅外線(xiàn)觀(guān)察用
對(duì)應(yīng)顯微鏡一覽
紅外線(xiàn)反射觀(guān)察 
> MX61A: 可以綜合控制外圍設(shè)備約定管轄、對(duì)應(yīng)300 mm晶圓的電動(dòng)型號(hào) 
> MX61L/ MX61: 可以對(duì)應(yīng)300 mm/ 200 mm 晶圓的電動(dòng)型號(hào) 
> MX51: 可以對(duì)應(yīng)150 mm晶圓的手動(dòng)型號(hào) 
> BX51M: 從明視場(chǎng)到熒光,對(duì)應(yīng)大范圍觀(guān)察的通用型號(hào)
紅外線(xiàn)反射透射觀(guān)察 
> BX61: 操作省力的電動(dòng)控制型號(hào) 
> BX51: 從明視場(chǎng)到熒光創新的技術,對(duì)應(yīng)大范圍觀(guān)察的通用型號(hào)


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