清洗： 工藝部件的表面通過離子束的物理轟擊而被清洗更合理，也可與特定氣體發(fā)生化學反應從而被清洗，清洗掉的工藝污染物轉化為氣相被排出更優美。 如：去除有機污染物各方面，去除納米級微粒，去除氧化層成效與經驗。

活化：工藝部件表面通過氧氣或空氣處理后適應性，會在表面形成氧原子團，這樣能使部件表面親水性和表面張力提高稍有不慎，能使涂料和粘接劑更好的附著于上重要作用，提高其的粘合力和附著力。 如：PDMS鍵合最為顯著，粘接前的預處理尤為突出，涂裝前的預處理，印刷前的預處理環境。

涂層：使工藝部件表面發(fā)生等離子聚合反應空間載體，前驅單體導入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面高質量，隨即發(fā)生聚合反應，形成聚合物層重要組成部分。 如：疏水層流程，親水層，保護/阻隔層勃勃生機，干潤滑層助力各業，疏油層。