特征電阻率的非接觸式測量和成像高頻渦流傳感原理與集成紅外溫度傳感器可校正樣品的溫度變化信號靈敏度基于線圈頻率讀數(shù)（正在申請）的高信號靈敏度

特征

電阻率的非接觸式測量和成像
高頻渦流傳感原理與集成紅外溫度傳感器可校正樣品的溫度變化
信號靈敏度
基于線圈頻率讀數(shù)（正在申請）的高信號靈敏度完善好，可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確可靠的電阻率測量大面積，并具有高再現(xiàn)性和可重復(fù)性
測量時間
測量時間 < 3 s，測量之間時間 < 1 s
測量速度
200 mm 晶圓/晶錠 < 30 s問題分析，9個點(diǎn)
多點(diǎn)測量及測繪顯示
9999個點(diǎn)
材料外形尺寸
平坦或略微彎曲的晶圓培養、晶錠、錠板更加完善、毛坯和薄膜
X-Y位置分辨率
≥ 0.1mm
邊緣扣除 
5 mm
可靠性
模塊化形式、緊湊的臺式儀器設(shè)計，可靠性高資源配置，正常運(yùn)行時間 > 99%
電阻率測量的重復(fù)性
≤ 0.15%信息，基于使用ANOVA Gage R&R方法對材料系統(tǒng)分析（MSA）

用戶友好且的操作軟件
+電阻率測量配方                                                  +分析功能包；統(tǒng)計大力發展、方差分析豐富內涵、溫度校正函數(shù)和庫
+導(dǎo)出/導(dǎo)入功能和原始數(shù)據(jù)訪問                           +遠(yuǎn)程訪問；基于互聯(lián)網(wǎng)的系統(tǒng)允許在世界任何地
+多級用戶賬戶管理方進(jìn)行遠(yuǎn)程操作和技術(shù)支持   +所有執(zhí)行的測量概覽
+繪圖選項（線產能提升、十字適應性、星、完整地圖充分發揮、地形發展成就、用戶定義圖案）

更多技術(shù)規(guī)格和配置選項