大口徑高溫高壓芯片退火管式爐設備用于較大尺寸（最大尺寸為8英寸）襯底退火處理產業，設備采用電阻絲為加熱元件，保溫材料為氧化鋁纖維爐膛真空吸附成型情況較常見，電阻絲為內(nèi)嵌式一體成型可持續；該設備還集成了真空以及供氣系統(tǒng)。

大口徑高溫高壓芯片退火管式爐設備用于較大尺寸（最大尺寸為8英寸）襯底退火處理生產體系，設備采用電阻絲為加熱元件服務，保溫材料為氧化鋁纖維爐膛真空吸附成型，保溫性能好能力和水平，電阻絲為內(nèi)嵌式一體成型覆蓋，美觀、節(jié)能研究；該設備還集成了真空以及供氣系統(tǒng)重要意義，滿足更多工藝條件要求。采用耐高溫金屬管為高溫爐管深化涉外，滿足高溫工作條件體系，也能滿足真空或者一定的正壓條件實驗要求，是一款潔凈的大尺寸樣品熱處理設備開展試點。

設備型號：LFT1200C450D254

額定電壓：380V

額定功率：13KW

最高溫度：1000℃

額定溫度：900℃

升溫速率：10℃/min

熱電偶類型：K型熱電偶

控溫精度:±1℃

極限真空度（選件）:1.0×10-3Pa（機械泵+分子泵）

加熱元件：OCr27Al7MO2（摻鉬鐵鉻鋁合金）

爐管尺寸（可根據(jù)客戶要求訂制）：內(nèi)徑245*600mm（含管堵）

外型尺寸（長×深×高):1900*700*2100mm