主要特征：
• 三軸導(dǎo)軌均采用高精度自潔式空氣軸承廣泛關註，運(yùn)動更平穩(wěn)，導(dǎo)軌受磨損集成技術。
• 三軸均采用高精度增量式金屬光柵尺就能壓製。
• Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌，在降低機(jī)器重量的同時適應能力，有效消除了運(yùn)動扭擺更優美，保證了測量精度和穩(wěn)定性。
• 采用RENISHAW的控制系統(tǒng)防控，保證了機(jī)器的動態(tài)性能和測量精度成效與經驗。
• 各運(yùn)動軸均采用直流伺服驅(qū)動，確保運(yùn)動的平穩(wěn)和準(zhǔn)確堅實基礎。
• X向采用精密三角梁技術(shù)稍有不慎，相比矩形梁和橫梁，重心更低等地，質(zhì)量剛性比最為顯著，運(yùn)動更加可靠。
• 軟件為Serein Dmis，經(jīng)濟(jì)易學(xué)實用環境。
規(guī)格型號與技術(shù)指標(biāo)：