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FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監(jiān)測系統(tǒng)2

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FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監(jiān)測系統(tǒng)采用撞擊式氣體吸收技術(shù)結(jié)合離子色譜分析方法,實(shí)現(xiàn)了多點(diǎn)采樣著力提升、氣體自動(dòng)吸收富集深刻內涵、在線質(zhì)量控制等全自動(dòng)在線監(jiān)測功能,解決了潔凈室AMC監(jiān)測過程中人員投入大融合、數(shù)據(jù)監(jiān)測頻率低深入闡釋、數(shù)據(jù)反饋不及時(shí)等問題;可應(yīng)用于半導(dǎo)體廠區(qū)氣態(tài)分子污染物(AMC)中酸性物質(zhì)(MA)完成的事情、堿性物質(zhì)(MB)污染物的在線監(jiān)測統籌。

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產(chǎn)品概述
FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監(jiān)測系統(tǒng)采用撞擊式氣體吸收技術(shù)結(jié)合離子色譜分析方法,實(shí)現(xiàn)了多點(diǎn)采樣協同控製、氣體自動(dòng)吸收富集振奮起來、在線質(zhì)量控制等全自動(dòng)在線監(jiān)測功能,解決了潔凈室AMC監(jiān)測過程中人員投入大利用好、數(shù)據(jù)監(jiān)測頻率低深入各系統、數(shù)據(jù)反饋不及時(shí)等問題;可應(yīng)用于半導(dǎo)體廠區(qū)氣態(tài)分子污染物(AMC)中酸性物質(zhì)(MA)系列、堿性物質(zhì)(MB)污染物的在線監(jiān)測作用。
產(chǎn)品特點(diǎn)

數(shù)據(jù)可靠

系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)遠(yuǎn)距離采樣、自動(dòng)富集吸收慢體驗、自動(dòng)質(zhì)量控制高質量、自動(dòng)分析相對簡便、數(shù)據(jù)自動(dòng)上傳全流程自動(dòng)化。

避免人工誤差引入流程,數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠合作。


靈敏度高

大體積進(jìn)樣濃縮,大幅提高系統(tǒng)檢測能力助力各業,檢出限可達(dá)亞ppt級(jí)極致用戶體驗,縮短系統(tǒng)運(yùn)行周期。


監(jiān)測面廣

單套系統(tǒng)最多可配置32個(gè)點(diǎn)位的樣品采集應用;

系統(tǒng)通過真空泵遠(yuǎn)距離采樣建議,可覆蓋300m范圍內(nèi)樣品的在線監(jiān)測。


設(shè)計(jì)合規(guī)

系統(tǒng)管路及閥組采用潔凈的聚四氟乙烯材料設(shè)計(jì)相貫通,滿足SEMI F57中相關(guān)析出雜質(zhì)的控制要求不斷發展。


吸收高效

在線雙吸收模塊設(shè)計(jì),有利于節(jié)約樣品分析時(shí)間自動化方案,數(shù)據(jù)輸出更快更高效緊密協作!

應(yīng)用領(lǐng)域
FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監(jiān)測系統(tǒng)主要應(yīng)用于潔凈室環(huán)境空氣中水溶性酸堿性污染物的在線監(jiān)測,可擴(kuò)展至大氣中離子污染物的檢測線上線下。


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