Ex-Power是新一代準(zhǔn)分子激光剝離系統(tǒng)等多個領域。采用了高穩(wěn)定性的作為光源，通過精密的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計產品和服務，在光束傳導(dǎo)過程中應用擴展，對激光光斑進(jìn)行整形和勻化體驗區，并通過專用的投影物鏡，將激光均勻照射在材料表面活動上。該系統(tǒng)具備結(jié)構(gòu)緊湊有望、光斑勻化效果好、傳輸效率高導向作用、能量密度大等優(yōu)勢方案。將紫外準(zhǔn)分子激光技術(shù)和高精度的機(jī)械運(yùn)動系統(tǒng)相結(jié)合，大大提高了激光剝離的質(zhì)量和效率十大行動，非常適合工藝研發(fā)和批量工業(yè)生產(chǎn)左右。

技術(shù)特點(diǎn)：

1、193/248/308nm 激光器綜合措施，短脈寬可靠保障，高峰值功率；

2設計標準、靜態(tài)氣體壽命 >30 天開展；

3、激光器壽命 >5億次脈沖發揮重要帶動作用；

4發展成就、能量密度 10J/cm2；

5重要方式、多種光路方案開展面對面，可定制；

6非常重要、同軸機(jī)器視覺示意圖進一步提升，所見即所得，反射/透射同軸照明營造一處；

7改革創新、X，Y位移臺安裝在剛性花崗巖基座上取得顯著成效，線性驅(qū)動新模式，±1mm精度；

8規劃、電動焦點(diǎn)控制（沿 Z 軸）提高；

9、配有同軸和離軸相機(jī)進入當下，模式識別軟件可選紮實；

10、功能全面新體系，易于操作的專用加工軟件投入力度；

應(yīng)用領(lǐng)域：

1創造、LED 藍(lán)寶石襯底剝離；

2貢獻法治、柔性屏與玻璃基板剝離設備製造；

3、微流控芯片攻堅克難；

4管理、柔性電路板加工；

5生動、玻璃表面微結(jié)構(gòu)新型儲能；

6、MiniLED剝離新品技；

7範圍、MircoLED剝離巨量轉(zhuǎn)移；

8紮實做、激光修復(fù)空間廣闊；

9、晶圓與載體激光解鍵合提供深度撮合服務；

光束傳播特點(diǎn)：

1服務品質、能量控制范圍 10-80%；

2組成部分、縮倍比 4x-20x影響；

3、焦距 25mm~150mm的過程中；

4發展契機、目標(biāo)能量密度 0.25-10J/cm2 ；

準(zhǔn)分子激光傳輸/照明/機(jī)器視覺系統(tǒng)示意圖 

參數(shù)：