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日立超高分辨肖特基場發(fā)射掃描電鏡 SU7000

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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SU7000不僅可以在低加速電壓下獲得高畫質(zhì)圖像單產提升,而且還可以同時(shí)接收多種信號(hào)

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

SU7000不僅可以在低加速電壓下獲得高畫質(zhì)圖像,而且還可以同時(shí)接收多種信號(hào)試驗。此外勞動精神,它還具備大視野觀察、In-Situ觀察等FE-SEM的眾多性能製度保障。

SU7000是一臺(tái)實(shí)現(xiàn)了信息獲取量的新型掃描電鏡預下達,可以滿足客戶的多種觀察需求。

接下來請欣賞SU7000帶來的多彩世界統籌推進。

核心理念

  1. 采用優(yōu)異的成像技術(shù)
    SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測信號(hào)方案。全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測系統(tǒng),使得裝置可以同時(shí)接收二次電子和背散射電子等信號(hào)保護好,用戶可以在短時(shí)間內(nèi)獲得更全面的樣品信息組建。

  2. 采用多通道成像技術(shù)
    隨著用戶對成像需求的不斷增長,SU7000特新增了幾種探測器特點,還引進(jìn)了相應(yīng)的成像功能深刻變革。SU7000最多可同時(shí)顯示和保存6通道信號(hào)。實(shí)現(xiàn)了獲得樣品信息的和諧共生。

  3. 支持不同形狀樣品質生產力、多種觀察方法
    ?大型樣品觀察
    ?低真空觀察
    ?超低溫觀察
    ?實(shí)時(shí)觀察
    等所需的樣品倉和真空系統(tǒng)都十分完備,觀察方法也是推廣開來。

  4. 支持微納解析
    采用肖特基發(fā)射電子槍推動,束流可達(dá)到200 nA,適用于各種微納解析資源配置。樣品倉形狀和接口設(shè)置支持EDX分析信息、EBSD相關、陰極熒光分析等,接口設(shè)備可通過選配附件滿足各種特殊需求豐富內涵。

成像能力

追求信息的檢測系統(tǒng)

隨著用戶對樣品數(shù)據(jù)的需求更加多元化生產效率,對檢測系統(tǒng)在短時(shí)間內(nèi)捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測系統(tǒng)可以在不改變WD等條件的前提下適應性,更高效地獲取形貌節點、成分、晶體學(xué)以及發(fā)光等信息落地生根。真正實(shí)現(xiàn)了更快速的特點、更全面的信息收集。

同一條件觀察

樣品:包裹有機(jī)物的金屬棒

樣品提供:Vassar College, Chemistry Dept. 
Mr. Smart and Ms. Pineda

通過UD有效保障、MD大數據、LD探測器同時(shí)采集信號(hào)的應(yīng)用實(shí)例 (加速電壓:1 kV)
通過UD、MD講實踐、LD探測器可以同時(shí)采集信號(hào)高效化,UD可獲取表面微細(xì)形狀信息,MD可獲取表面有機(jī)物包覆狀態(tài)信息為產業發展,LD可獲取整體凹凸形貌信息。在同一個(gè)條件下有所增加,實(shí)現(xiàn)了獲取信息的各項要求。

采用可多通道顯示的GUI設(shè)計(jì)

優(yōu)化信號(hào)顯示功能

  • 成像單元在信號(hào)顯示上也作了全新升級。

  • 用戶可根據(jù)觀察需求越來越重要的位置,選擇不同的視場角和通道數(shù)新技術。

  • 單屏最多可同時(shí)顯示4通道信號(hào)。

  • 導(dǎo)航功能(SEM MAP)可以輕松捕捉到顯示樣品倉內(nèi)信息的CCD相機(jī)圖像和相機(jī)拍攝到的樣品圖像順滑地配合,快速顯示目標(biāo)圖像深入。

  • 使用雙屏顯示時(shí),可在一個(gè)顯示屏上雙通道顯示1,280×960像素的圖像前沿技術,另一個(gè)顯示屏專門用來顯示信號(hào)基礎,最多可同時(shí)顯示6通道信號(hào)。

高自由度的界面布局

使用單屏?xí)r拓展基地,可以單通道集中展示、雙通道、四通道顯示樣品信息體系流動性,也可以顯示CCD相機(jī)圖像探索創新、樣品臺(tái)圖像/SEM MAP圖像等。而且操作畫面上的工具欄可以任意移動(dòng)實現了超越、添加和刪除新產品。

支持雙屏顯示

1st顯示屏專門用來顯示圖像去完善,2nd顯示屏用來顯示操作面板畫面。上圖左圖(1st顯示屏)是通過SU7000觀察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片長遠所需。圖中清晰呈現(xiàn)出UD求索、LD、UVD生產創效、MD結構、PD-BSED5個(gè)探測器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖。右圖(2nd顯示屏)將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個(gè)畫面中顯示優化上下,界面布局清晰明了能力建設。在實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)控圖像的同時(shí),操作性能也得到了進(jìn)一步提升生產體系。

可擴(kuò)展觀察和分析方法

樣品倉和馬達(dá)臺(tái)


樣品倉外觀
標(biāo)配18個(gè)附件接口


馬達(dá)臺(tái)外觀
XY軸可移動(dòng)距離為135×100 mm

樣品倉可搭載直徑為φ 200 mm服務;80 mm的樣品。大開倉設(shè)計(jì)能力和水平,標(biāo)配18個(gè)附件接口覆蓋。樣品臺(tái)可搭載XY軸移動(dòng)距離為135×100 mm,最重2 kg的樣品研究。搭載大型樣品和功能樣品臺(tái)不成問題高效。

相機(jī)導(dǎo)航功能(*)

通過相機(jī)拍攝樣品

      將相機(jī)拍攝到的圖像顯示到SEM MAP畫面上進(jìn)行導(dǎo)航

SU7000可選配導(dǎo)航相機(jī)(*),迅速鎖定要觀察的位置提高。相機(jī)安裝在樣品倉內(nèi)機構,插入樣品后,可半自動(dòng)拍攝樣品的整體圖像交流。該圖像會(huì)被顯示到導(dǎo)航畫面(SEM MAP)窗口基礎,因此,用戶可以觀察窗口中的圖像判斷位置還不大。適用尺寸為φ 100 mm實踐者。



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