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嵌入式膜厚檢測(cè)儀

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產(chǎn)品信息 特 點(diǎn) 采用分光干涉法 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)( 第4834847號(hào)) 使用光學(xué)光纖,可靈活構(gòu)筑測(cè)量系統(tǒng) 可嵌入至各種制造設(shè)備集成應用。 實(shí)時(shí)測(cè)量膜厚 可對(duì)應(yīng)遠(yuǎn)程操作探討、多點(diǎn)測(cè)量...

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

    產(chǎn)品信息

    特 點(diǎn)

   采用分光干涉法

   搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)( 第4834847號(hào))

   使用光學(xué)光纖,可靈活構(gòu)筑測(cè)量系統(tǒng)

   可嵌入至各種制造設(shè)備高效流通。

   實(shí)時(shí)測(cè)量膜厚

   可對(duì)應(yīng)遠(yuǎn)程操作調解製度、多點(diǎn)測(cè)量

   采用壽命長(zhǎng)、安全性高的白色LED光源

    測(cè)量項(xiàng)目

   多層膜厚解析

    用 途

   光學(xué)薄膜(超硬涂層功能、AR薄膜應用的因素之一、ITO等)

   FPD相關(guān)(光刻膠、SOI預期、SiO2等)

    設(shè)備構(gòu)成

    單點(diǎn)型

   半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測(cè)量

   玻璃基板的面內(nèi)分布測(cè)量

    多點(diǎn)型

   實(shí)時(shí)測(cè)量

   流向品質(zhì)管理

   真空室適用

    導(dǎo)線型

   實(shí)時(shí)測(cè)量

   寬度方向品質(zhì)管理

    測(cè)量案例

    超硬涂層的膜厚解析


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