特點
核心理念
- 采用優(yōu)異的成像技術(shù)
SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細結(jié)構(gòu)等多種檢測信號。全新設(shè)計的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)發行速度，使得裝置可以同時接收二次電子和背散射電子等信號更加堅強，用戶可以在短時間內(nèi)獲得更全面的樣品信息。 - 采用多通道成像技術(shù)
隨著用戶對成像需求的不斷增長性能，SU7000特新增了幾種探測器初步建立，還引進了相應(yīng)的成像功能。SU7000最多可同時顯示和保存6通道信號供給。實現(xiàn)了獲得樣品信息的的方法。 - 支持不同形狀樣品、多種觀察方法
・大型樣品觀察
・低真空觀察
・超低溫觀察
・實時觀察
等所需的樣品倉和真空系統(tǒng)都十分完備進行探討，觀察方法也是帶動產業發展。 - 支持微納解析
采用肖特基發(fā)射電子槍，束流可達到200 nA十分落實，適用于各種微納解析倍增效應。樣品倉形狀和接口設(shè)置支持EDX分析、EBSD、陰極熒光分析等優化服務策略，接口設(shè)備可通過選配附件滿足各種特殊需求關規定。
成像能力
追求信息的檢測系統(tǒng)
隨著用戶對樣品數(shù)據(jù)的需求更加多元化，對檢測系統(tǒng)在短時間內(nèi)捕捉更多的信息提出了更高的要求兩個角度入手。SU7000的檢測系統(tǒng)可以在不改變WD等條件的前提下建強保護，更高效地獲取形貌、成分生產效率、晶體學(xué)以及發(fā)光等信息使命責任。真正實現(xiàn)了更快速、更全面的信息收集創新延展。
同一條件觀察
樣品提供：Vassar College, Chemistry Dept.
Mr. Smart and Ms. Pineda
通過UD強化意識、MD、LD探測器同時采集信號的應(yīng)用實例 （加速電壓：1 kV）
通過UD基本情況、MD現場、LD探測器可以同時采集信號，UD可獲取表面微細形狀信息力量，MD可獲取表面有機物包覆狀態(tài)信息我有所應，LD可獲取整體凹凸形貌信息。在同一個條件下深入實施，實現(xiàn)了獲取信息的至關重要。
采用可多通道顯示的GUI設(shè)計
優(yōu)化信號顯示功能
成像單元在信號顯示上也作了全新升級。
用戶可根據(jù)觀察需求效果，選擇不同的視場角和通道數(shù)有所應。
單屏最多可同時顯示4通道信號。
導(dǎo)航功能(SEM MAP)可以輕松捕捉到顯示樣品倉內(nèi)信息的CCD相機圖像和相機拍攝到的樣品圖像合作關系，快速顯示目標(biāo)圖像著力提升。
使用雙屏顯示時，可在一個顯示屏上雙通道顯示1,280×960像素的圖像傳遞，另一個顯示屏專門用來顯示信號融合，最多可同時顯示6通道信號。
高自由度的界面布局
使用單屏?xí)r規模最大，可以單通道穩中求進、雙通道、四通道顯示樣品信息最深厚的底氣，也可以顯示CCD相機圖像協同控製、樣品臺圖像/SEM MAP圖像等。而且操作畫面上的工具欄可以任意移動品質、添加和刪除重要作用。
支持雙屏顯示
1st顯示屏專門用來顯示圖像等地，2nd顯示屏用來顯示操作面板畫面。上圖左圖（1st顯示屏）是通過SU7000觀察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片尤為突出。圖中清晰呈現(xiàn)出UD規定、LD、UVD空間載體、MD高質量、PD-BSED5個探測器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖。右圖（2nd顯示屏）將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個畫面中顯示重要組成部分，界面布局清晰明了流程。在實現(xiàn)實時監(jiān)控圖像的同時，操作性能也得到了進一步提升勃勃生機。
可擴展觀察和分析方法
樣品倉和馬達臺
樣品倉外觀
標(biāo)配18個附件接口
馬達臺外觀
XY軸可移動距離為135×100 mm
樣品倉可搭載直徑為φ 200 mm助力各業；80 mm的樣品。大開倉設(shè)計提供有力支撐，標(biāo)配18個附件接口應用。樣品臺可搭載XY軸移動距離為135×100 mm，最重2 kg的樣品品率。搭載大型樣品和功能樣品臺不成問題相貫通。
相機導(dǎo)航功能(*)
將相機拍攝到的圖像顯示到SEM MAP畫面上進行導(dǎo)航
SU7000可選配導(dǎo)航相機(*)，迅速鎖定要觀察的位置積極影響。相機安裝在樣品倉內(nèi)自動化方案，插入樣品后，可半自動拍攝樣品的整體圖像越來越重要。該圖像會被顯示到導(dǎo)航畫面（SEM MAP）窗口線上線下，因此，用戶可以觀察窗口中的圖像判斷位置醒悟。適用尺寸為φ 100 mm講道理。
(*)可選配相機。
支持動態(tài)觀察的檢測系統(tǒng)
SU7000可用于環(huán)境改變的動態(tài)觀察性能穩定。低真空觀察時，可以選用PD-BSED（背散射電子探測器）作用、UVD情況正常、MD等各種探測器(**)。
低真空環(huán)境的探測器選擇
左圖為通過MD（背散射電子）技術特點，右圖為通過UVD（二次電子）探測器觀察到的金屬氧化物纖維的情況提高鍛煉。兩張圖分別清晰地呈現(xiàn)出氧化物的分散狀態(tài)和纖維的堆積情況。
PD-BSED：響應(yīng)速度提高
左圖是以一般的響應(yīng)速度凝聚力量，約每兩秒掃描一次得到的圖像有所提升；右圖抑制了圖像的漂移聽得進，使得整體的畫質(zhì)得到了大幅提升。隨著響應(yīng)速度的提高先進水平，更適用于In-Situ觀察便利性。
(**)可選配PD-BSED、UVD重要平臺。
規(guī)格
| 項目 | 內(nèi)容 |
| 圖像分辨率 | 二次電子分辨率 | 0.8 nm/15 kV |
| 0.9 nm/1 kV |
| 放大倍率 | 20～2,000,000 x |
| 電子槍 | 發(fā)射體 | ZrO/W熱場發(fā)射（肖特基熱場發(fā)射） |
| 加速電壓 | 0.1～30 kV （步進：0.01 kV） |
| 束流 | 200 nA |
| 探測器 | 標(biāo)準(zhǔn)探測器 | UD （上探測器) |
| MD （中探測器） |
| LD （下探測器) |
| 選配探測器*1 | PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測器） |
| UVD（高靈敏度低真空探測器 ） |
| 低真空模式*1 | 樣品倉壓力范圍 | 5～300 Pa |
| 可使用探測器 | PD-BSED, UVD, UD, MD, LD |
| 馬達臺 | 馬達臺控制 | 5軸馬達驅(qū)動 |
| 移動范圍 | X | 0～135 mm |
| Y | 0～100 mm |
| Z（WD） | 1.5～40 mm |
| T（傾斜角） | -5～70° |
| R（旋轉(zhuǎn)角） | 360° |
| 樣品尺寸 | 直徑：φ200 mm, 高度：80 mm |
| 顯示器*1 | 23英寸LCD （1,920×1,080）, 支持雙屏 |
| 圖像顯示模式 | 全屏顯示模式 | 1,280×960像素顯示 |
| 單屏顯示模式 | 800×600像素顯示 |
| 雙屏顯示模式 | 800×600像素顯示深刻認識、1,280×960像素顯示 *2 |
| 四屏顯示模式 | 640×480像素顯示 |
| 六屏顯示模式*2 | 640×480像素顯示 *2 |
| 圖像數(shù)據(jù)保存 | 保存圖像尺寸 | 640×480、1,280×960應用提升、2,560×1,920主動性、5,120×3,840、10,240×7,680 |
| 選配附件 | 能譜儀（EDX） |
| X射線波譜儀（WDX） |
| 電子背散射衍射（EBSD） |
| 陰極熒光探測器（CL) |
| 冷凍傳輸系統(tǒng) |
| 各種功能樣品臺 |
