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詳細(xì)信息測(cè)量范圍:200mm×100mm分辨率:0.0002mm準(zhǔn)確度:(1+L/100)μm(其中L為測(cè)量長度

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分辨率:0.0002mm

準(zhǔn)確度:(1+L/100μm(其中 L為測(cè)量長度方法,單位:mm

工作臺(tái)

平工作臺(tái)尺寸:260mm×270mm

圓工作臺(tái)直徑:φ  213mm

圓工作臺(tái)角度分劃范圍:0°~ 360°

圓工作臺(tái)角度分度值:30"

物鏡

主顯微鏡立柱
傾斜范圍:±12°
傾斜角度分劃值:30′
測(cè)角目鏡
角度分劃范圍:360°
角度分度值:1'
輪廓目鏡
角度分劃范圍:±7°
角度分度值:10'
頂針裝置
夾持長度:700mm
夾持直徑:φ100mm
高頂針架
夾持長度:200mm
夾持直徑:φ250mm
圓分度頭
角度分劃范圍:0°~ 360°
角度分度值:1′
光學(xué)定位器
測(cè)桿垂直方向擺動(dòng)范圍:±3°
探測(cè)孔徑:φ5mm
探測(cè)深度:15mm
定位變動(dòng)性: <1μm
測(cè)量力(N):0.1±0.03
環(huán)境要求:室溫20±1℃,相對(duì)濕度40%-60%RH
儀器外形尺寸(mm) :長1300×寬1250×高800
儀器質(zhì)量: 450kg


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