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馬爾粗糙度輪廓儀LD 260

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產(chǎn)品特點(diǎn):l高速移動(dòng)和定位l130mm/260mm長(zhǎng)測(cè)量行程以及大測(cè)頭測(cè)量范圍l創(chuàng)新測(cè)針系統(tǒng)以及仿生學(xué)測(cè)臂設(shè)計(jì)l磁性的測(cè)臂夾持裝置和測(cè)臂識(shí)別裝置l粗糙度和輪廓度二合一l基于友好服務(wù)理念的模塊化設(shè)計(jì)技術(shù)參數(shù):水平軸的特征:?行程長(zhǎng)度(Lt):0

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15876231787314497.png

產(chǎn)品特點(diǎn) :

l 高速移動(dòng)和定位

l 130mm/260mm長(zhǎng)測(cè)量行程以及大測(cè)頭測(cè)量范圍

l 創(chuàng)新測(cè)針系統(tǒng)以及仿生學(xué)測(cè)臂設(shè)計(jì)

l 磁性的測(cè)臂夾持裝置和測(cè)臂識(shí)別裝置

l 粗糙度和輪廓度二合一

l 基于友好服務(wù)理念的模塊化設(shè)計(jì)

QQ截圖20200423124243.png

QQ截圖20200423124251.png

技術(shù)參數(shù):

水平軸的特征:

? 行程長(zhǎng)度(Lt)0. mm to 260 mm

? 定位速度:0.02 mm/s 200 mm/s

? 測(cè)量速度:0.02 mm/s 10 mm/s; 粗糙度測(cè)量 推薦速度0.1 mm/s0.5 mm/s

? X方向取樣間距:0.05 μm30 μm,可調(diào)整

? 每次測(cè)量最多測(cè)量點(diǎn):5200000點(diǎn)

? 分辨率:0.8 nm

? X軸測(cè)量的不確定度:± (0.2+l/1000) μm; l 單位 mm

測(cè)頭系統(tǒng)特征:

? 測(cè)頭測(cè)量范圍:26 mm (200 mm測(cè)臂)

? 分辨率:0.8mm

? 測(cè)量力:0.5 mN to 30 mN, 可通過軟件設(shè)置

殘余誤差 Rz0, Rq0

? vt = 0.1 mm / s時(shí)的殘余誤差:Rz0 20 nm Rq0 1 nm, typical

輪廓:

? 距離測(cè)量顯示誤差:± (1.0+l / 150) µm; l 單位 mm

? 半徑測(cè)量顯示誤差:(R 10 mm) ± 1 µm (10 mm < R 300 mm) ± 0.17 + (R/ 12) µm (R > 300 mm) ± (-18 + R / 7) µm

15876232123856824.png15876232158246000.png

QQ截圖20200423124415.png

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