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多模態(tài)顯微成像缺陷檢測儀

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多模態(tài)顯微成像缺陷檢測儀(ModelMDI-2000)選擇適用,是一款把激光散射掃描成像機構、明暗場光學成像、光熱顯微成像三種技術(shù)集成在一起交流,三位一體基礎,模式自動切換,一鍵式全自動操作還不大,特別適合超精密加工工藝的研究以及強激光元件質(zhì)量評價

詳細信息 在線詢價

多模態(tài)顯微成像缺陷檢測儀(Model MDI-2000)高產,是一款把激光散射掃描成像、明暗場光學成像發揮作用、光熱顯微成像三種技術(shù)集成在一起良好,三位一體,模式自動切換銘記囑托,一鍵式全自動操作引領,特別適合超精密加工工藝的研究以及強激光元件質(zhì)量評價自動化裝置。

產(chǎn)品特征

1、高速度應用前景;

2有很大提升空間、高靈敏度;

3首次、 高重復性可能性更大;

4、一鍵式全自動操作搖籃;

5技術、樣品更換便捷、無需重復校準標準。

主要技術(shù)參數(shù)
多模態(tài)顯微成像缺陷檢測儀

檢測方式

全自動

激光散射缺陷尺寸靈敏度

50nm(硅) ,200nm(石英)

光學明場暗場成像分辨率

亞微米(標配)示範推廣,可以優(yōu)于500nm(選項)

光熱顯微成像分辨率

亞微米(標配),可以優(yōu)于500nm(選項)

注:可以根據(jù)客戶需求提供同類特制儀器和相關(guān)測試的解決方案即將展開,包括大尺寸元件解決方案積極參與。



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