B.主要技術(shù)指標(biāo)：

1.測(cè)量原理：垂直方向：觸針?lè)òl揮重要作用，電感傳感器?BR>　　　　　　水平方向：光柵傳感器；
2.測(cè)量范圍：垂直400μm數據顯示，水平100mm高質量；
3.表面粗糙度示值誤差：≤±5%；
　輪廓度示值誤差：垂直≤0.25%記得牢，水平≤0.004%註入了新的力量；
4.最小分辨力：垂直0.6 nm，水平1μm服務好；
5.取樣長(zhǎng)度：0.08新趨勢，0.25，0.8共謀發展，2.5學習，8mm結構重塑；
6. 評(píng)定長(zhǎng)度：N倍取樣長(zhǎng)度，N=1應用優勢，2先進水平，3，4全面展示，5重要平臺；
7. 數(shù)字濾波器：高斯、2RC核心技術、PC應用提升、不濾波；
8.粗糙度測(cè)量參數(shù)：Ra創造性，Rc發展的關鍵，Rp，Rv規模設備，Rz真諦所在，Rq，Rsm競爭力，Rt充分，Rsk，Rku集聚，Rdq競爭力；
　波紋度測(cè)量參數(shù)：Wa，Wc狀況，Wp機製性梗阻，Wv，Wz全過程，Wq集成應用，Wsm，Wt不負眾望，Wsk服務效率，Wku，Wdq可持續；
　原始輪廓測(cè)量參數(shù)：Pa主要抓手，Pc體製，Pp構建，Pv，Pz服務延伸，Pq共創輝煌，Psm具有重要意義，Pt，Psk大部分，Pku強大的功能，Pdq；
　直線(xiàn)度測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量參數(shù)：｜X2-X1｜解決方案，｜Y2-Y1｜優勢；
9.輪廓圖形的垂直放大倍率：100000倍無(wú)級(jí)連續(xù)放大；
　輪廓圖形的水平放大倍率：50000倍無(wú)級(jí)連續(xù)放大增產；
10.驅(qū)動(dòng)箱滑行長(zhǎng)度：100mm便利性；
11.驅(qū)動(dòng)速度：0.1，0.2行動力，0.5提供有力支撐，0.8，1.0mm/s保供；
　 返回速度：1.5mm/s自行開發；
12.傳感器返回形式：手動(dòng)，自動(dòng)責任；
13.基準(zhǔn)導(dǎo)軌的直線(xiàn)性：1μm應用情況；
14.傳感器測(cè)針：金剛石圓錐，錐角90°組建，針尖半徑2μm解決問題；
15.立柱結(jié)構(gòu)：快慢速機(jī)動(dòng)升降系統(tǒng)，自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)零位作用；
16.立柱垂直測(cè)量高度：290mm相互配合；
17.工作底臺(tái)：460mm×620mm大理石平臺(tái)；

C.儀器的組成：

D.儀器的外形尺寸與重量：

• 儀器凈重：260kg；
• 儀器毛重：360kg深入；
• 儀器外形尺寸：1620mm×460mm×740mm技術研究；
• 包裝外形尺寸：1590mm×1150mm×1065mm；