產(chǎn)品特點(diǎn)：1、面積大：0~?25毫米等特點、0~?50毫米

產(chǎn)品特點(diǎn)：
    1建言直達、面積大：0~?25毫米、0~?50毫米將進一步；

    2充分發揮、濺射樣品表面膜層更均勻；

    3動力、顆粒度更型瑫r。?nm左右）；

    4效高性、濺射到樣品表面能量低，對(duì)樣品損傷凶詣踊?√嵘?；（適用溫度敏感性高的樣品）

    5、可以濺射各種固體靶材（如各種金屬不折不扣、陶瓷支撐能力、碳等）資源優勢；

    6、控制精度高特征更加明顯，實(shí)驗(yàn)結(jié)果精準(zhǔn)可控重復(fù)性高估算；

    7、在同一真空腔內(nèi)方便，可實(shí)現(xiàn)清洗和鍍膜基礎上，降低污染樣品造成的數(shù)據(jù)偏差 ；
    8應用領域、加入特殊氣體保持競爭優勢，可進(jìn)行反應(yīng)離子束刻蝕；
    9發展機遇、可實(shí)現(xiàn)的功能有：等離子清洗長效機製、鍍膜等；
    10全技術方案、數(shù)字化自動(dòng)控制系統(tǒng)分享。