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LCL-5A 自動橢圓偏振測厚儀

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儀器簡介:橢圓偏振光譜技術(shù)是近年來隨著現(xiàn)代科技的發(fā)展而迅速發(fā)展起來的光學無損檢測方法明確相關要求,在材料重要意義、信息、化學深化涉外、物理構建、生命科學等領(lǐng)域具有廣泛的應用前景

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儀器簡介:

    橢圓偏振光譜技術(shù)是近年來隨著現(xiàn)代科技的發(fā)展而迅速發(fā)展起來的光學無損檢測方法,在材料服務延伸、信息共創輝煌、化學、物理進一步、生命科學等領(lǐng)域具有廣泛的應用前景大部分。它已越來越多的用于介電、半導體提高、金屬機構、有機物等各種材料的光學特性、結(jié)構(gòu)特征交流、生長過程和材料質(zhì)量的快速測試與研究基礎。儀器采用消光式橢圓偏振方式測量,精度高、自動控制高產,光源采用氦氖激光信息化技術,波長精度高,儀器采用USB接口與電腦連接良好,配套軟件對采樣數(shù)據(jù)具有多種處理方式逐步顯現,適用于不同需要,軟件有完整版及學生版兩種版本引領,適于教學要求自動化裝置。



實驗內(nèi)容:

1、了解并熟悉儀器的工作原理和性能

2應用前景、掌握如何利用設備測試樣品的方法



主要配置和參數(shù):

序號

名稱

規(guī)格和參數(shù)

1

測量范圍

1nm-4000nm

2

測量最小值

≤1nm

3

鍍膜折射率范圍

1.300-10.000

4

入射角

40°-90°誤差≤0.05°

5

偏振器方位角讀數(shù)范圍

0°-180°

6

偏振器步進角

0.0375°/步

7

測量精度

±0.5nm(10nm,±0.5nm)

8

光學中心高度

75mm

9

工作臺直徑

Φ10mm-Φ120mm

10

厚度

≤10mm









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