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美國Sonoscan D9650 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡

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D9650和上一代產(chǎn)品一樣提供了良好的精度和穩(wěn)健性薄弱點,增加了一個合并了PolyGate技術(shù)和Sonolytics的改進型的電子與軟件平臺覆蓋範圍。D9650是理想的用于失效分析、工藝開發(fā)開放要求、材料特性和小批量生產(chǎn)的工具向好態勢。

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Sonoscan D9650 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡

美國Sonoscan D9650 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡(圖1)

產(chǎn)品原理 :

利用不同材料對超聲波聲阻抗不同,對聲波的吸收和反射程度不同服務機製,來探測半導(dǎo)體貢獻力量、元器件的結(jié)構(gòu)、缺陷大幅拓展、對材料做定性分析發行速度。



特點和優(yōu)勢:

* 帶有Multi-Gate 及Probing-Gate 功能的PolyGate 技術(shù)可以進行單一及多層自動聚焦成像

* 每頻道多達100個Gates

* Windows 10 Sonolytics 2 界面,64字節(jié)處理能力

* 線性馬達掃描儀可掃描JEDEC托盤

* 帶有塔式安裝掃描參考平臺及樣品定位架與時俱進,更加精準

* 方便使用掃描區(qū)域使安裝性能、拆卸更加方便,可以掃描JEDEC托盤或300mm晶圓片

* 定量的B-Scan是Sonoscan的分析模式(Q-BAM)

* B-Scan模式提供了虛擬橫截面視圖綜合運用,并帶有準確的極性供給、幅值和深度數(shù)據(jù)



Sonoscan D9650 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡是新一代聲學(xué)顯微圖像(AMI)技術(shù)革新的一部分。無論你需要用于失效分析實事求是、工藝開發(fā)進行探討、材料特性和小批量生產(chǎn)或其它的試驗室檢查,D9650都會提供優(yōu)秀的能力服務水平。


的Sonoscan 功能增加了價值和信心最新,比如Visual PolyGate、移動地圖處理方法、像素間距等等重要作用。具有的大尺寸、容易進入的且有燈光照明的掃描區(qū)域習慣,以及它掃描塔的參考掃描和固定裝置使得D9650有能力來快速的掃描任何樣品充足,包括從單個器件到兩個JEDEC托盤的器件。


廠務(wù)需求

通用電壓 - 90V到250V AC的積極性,單相綠色化發展,50/60 Hz,15安培(120V)

外形–直式桌子:長寬高 1.89 x 0.74 x 1.58 m (74.5 x 29.0x 61.9 英寸)



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