WG-15J測(cè)量顯微鏡應(yīng)用范圍：測(cè)量潛望鏡是光學(xué)計(jì)量?jī)x器之一種長期間，它的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單基本情況，操作方便，適用范圍及廣

WG-15J測(cè)量顯微鏡

應(yīng)用范圍：測(cè)量潛望鏡是光學(xué)計(jì)量?jī)x器之一種高端化，它的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單力量，操作方便，適用范圍及廣提單產。

光學(xué)系統(tǒng)規(guī)格：

測(cè)量工作臺(tái)讀數(shù)裝置主要規(guī)格

X軸遇到測(cè)量范圍50nm

Y軸遇到測(cè)量范圍13nm

測(cè)量器分度值：0.01nm

測(cè)量臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)范圍不限：NO limit

測(cè)量臺(tái)刻度盤分度范圍：0°～360°

測(cè)量臺(tái)刻度盤之分度值：1°

測(cè)量臺(tái)刻度盤游標(biāo)讀數(shù)示值：6’

測(cè)量精度：

儀器示值誤差：± （4+L/15）μ m

儀器示值誤差：包括測(cè)量誤差和系統(tǒng)誤差

注：測(cè)量地點(diǎn)溫度變化20℃±3℃深入實施，L--被測(cè)件長(zhǎng)度