Nova 系列掃描電子顯微鏡 (SEM) 具有低真空功能效果，是滿足研究實(shí)驗(yàn)室有所應、半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)室和制造工廠、生物和生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)室及其他行業(yè)各種成像合作關系、分析和樣品制備需求的理想之選著力提升。 Nova 系統(tǒng)包含 EBIC、冷凍樣品臺(tái)傳遞、STEM融合、EDS、WDS 和 EBSD更加廣闊。精確真實(shí)的納米尺度信息規劃，**的高電壓和低電壓襯度，100 V 以下的高分辨率成像可以使用，快速分析進入當下，使用低真空對(duì)大多數(shù)帶電或污染樣品進(jìn)行超高分辨率研究。這些均為 Nova™ NanoSEM 場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡多年前即已具備的基本特征效高化。

Nova NanoSEM系列產(chǎn)品除的光學(xué)（包括雙模*終透鏡）新體系、SE/BSE（二次電子/背散射電子）透鏡內(nèi)探測(cè)和射束減速的強(qiáng)大組合功能之外，采用了**一代高靈敏度伸縮式 SE/BSE 和 STEM 探測(cè)器的全新套件創造，并具備多功能SE/BSE 過濾功能不難發現，****地優(yōu)化重要信息。智能掃描模式可用于****減少假像環境。樣品清潔對(duì)于低電壓高分辨率成像至關(guān)重要空間載體，可使用 FEI 整合解決方案（使樣品表面免于碳?xì)浠衔镂廴荆┘右跃S護(hù)。NovaNanoSEM 450 配置了** 200 nA 射束電流和大型電動(dòng)傾斜樣品臺(tái)相對簡便，分析能力因此也大幅提升重要組成部分。一切均不會(huì)影響 Nova NanoSEM 的高分辨率性能。

Nova NanoSEM 50 系列產(chǎn)品可使用其****的低真空能力表征或分析更多樣品合作，包括大多數(shù)非導(dǎo)電或污染材料勃勃生機。由于 FEI Helix™ 探測(cè)器技術(shù)，低真空表征可一直擴(kuò)展至超高分辨率極致用戶體驗。大小樣品均可輕易置入大型樣品室提供有力支撐，并置于 Nova NanoSEM 高度精確且穩(wěn)定的樣品臺(tái)上。此外建議，高清相機(jī)和相關(guān)導(dǎo)航裝置可幫助迅速發(fā)現(xiàn)興趣所在區(qū)域并移至相應(yīng)區(qū)域品率。

至于 nanoprototyping，Nova NanoSEM 50 系列產(chǎn)品可提供***的整合工具**不斷發展，包括 16 位板載數(shù)字圖案生成器和**制圖軟件技術發展、高速靜電射束熄滅裝置以及用于直接電子束寫入式納米結(jié)構(gòu)的氣體注射系統(tǒng)。Nova NanoSEM 650 樣品臺(tái)配置了壓電驅(qū)動(dòng)馬達(dá)集成，可在 150 x 150 mm 移動(dòng)范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)更細(xì)致且更高的 XY 可重復(fù)性。

性能特點(diǎn)

場(chǎng)發(fā)射 SEM、超穩(wěn)定高電流 Schottky 電子*
的光學(xué)和探測(cè)技術(shù)穩定性，包括沉浸模式像一棵樹、射束減速、透鏡內(nèi) TLD-SE 和 TLD–BSE去突破、DBS 和 STEM能運用，可實(shí)現(xiàn)**信息選擇和圖像優(yōu)化
低至 50 V 的射束著陸能量
1.4 nm @ 1 kV、無射束減速
**真正高分辨率的低真空 FESEM： 1.8 nm @ 3 kV 和 30 Pa
高達(dá) 200 nA 的高真空或低真空分析
整合式 16 位掃描/制圖引擎
超潔凈智能設備、無油滾動(dòng)和渦輪抽氣真空系統(tǒng)
150 x 150 mm 高精密不可缺少、高穩(wěn)定壓電樣品臺(tái) (Nova NanoSEM 650)

應(yīng)用領(lǐng)域

實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)室和制造工廠特點、生物和生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)室及其他行業(yè)各種成像積極回應、分析和樣品制備需求。