光學(xué)儀器美國(guó)紫外光能量計(jì)OAI659
OAI品牌 659 紫外光能量計(jì)——適用于所有晶圓步進(jìn)機(jī)
在過(guò)去的45年里，OAI一直是紫外光和能量測(cè)量?jī)x器的世界創(chuàng)造者技術的開發，用于半導(dǎo)體研究與應用、EMS飛躍、圓封裝和晶圓凸點(diǎn)等行業(yè)的光刻工藝的可靠準(zhǔn)確校準(zhǔn)控制更高效。新型號(hào)659是一種新的紫外曝光分析儀，專門設(shè)計(jì)用于包括高強(qiáng)度晶圓步進(jìn)機(jī)在內(nèi)的所有晶片步進(jìn)機(jī)重要部署。該儀器的平均曝光讀數(shù)高達(dá)400具體而言，具有以太網(wǎng)和USB接口，可下載記錄的測(cè)量值智慧與合力，強(qiáng)度范圍高達(dá)7500MW/cm2喜愛。探針的波長(zhǎng)有365nm、400nm開放要求、420nm和436nm可選向好態勢。OAI擁有一個(gè)完整的認(rèn)證校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室，以維護(hù)我們儀表的性能服務機製、質(zhì)量和可靠性貢獻力量。659型儀表可追溯至NIST標(biāo)準(zhǔn)。
光學(xué)儀器美國(guó)紫外光能量計(jì)OAI659規(guī)格：
用戶界面：觸摸屏
計(jì)算機(jī)接口：可選以太網(wǎng)和USB下載記錄
測(cè)量
電源：電池采用充電保護(hù)的3.7V鋰離子充電
充電器電源：100-240 VAC
顯示設(shè)置：2個(gè)屏幕
1.設(shè)置屏幕：以太網(wǎng)地址更多可能性、日期和時(shí)間
2.運(yùn)行屏幕：波長(zhǎng)去創新、強(qiáng)度、時(shí)間緊迫性、劑量結構、探針溫度、探針類型高效、偏差百分比溝通協調、序列號(hào)、校準(zhǔn)到期日體系、電池狀態(tài)帶動擴大、探針序列號(hào)和充電器狀態(tài)。
內(nèi)存存儲(chǔ)：高達(dá)400條讀取
強(qiáng)度范圍：高達(dá)7500mw/cm2
強(qiáng)度分辨率：0.01mW/cm2
劑量范圍：高達(dá)1000 J/cm3
劑量分辨率：0.01mJ/cm3
時(shí)間范圍：高達(dá)9999秒
時(shí)間分辨率：0.0001秒開拓創新，*小劑量暴露25米秒
尺寸：14英寸X 8.25英寸X 3.5英寸
重量：3.5磅
工作環(huán)境：15–40度
符合：ROHS2和CE（EMC和安全）
探頭規(guī)格
選項(xiàng)：非補(bǔ)償溫度探頭
探頭檢測(cè)器：硅光電二極管
可用波長(zhǎng)（nm）365持續發展、400必然趨勢、420、436
過(guò)濾器：多層吸收/介質(zhì)
強(qiáng)度范圍：高達(dá)7500MW/cm2
互換性：任何型號(hào)的659探針都可以與659儀表一起使用
符合性：ROHS2和CE（EMC和安全）
注：報(bào)價(jià)僅為主機(jī)報(bào)價(jià)擴大，探頭可從上面4個(gè)中（365多樣性、400、420新格局、436nm）選擇并單獨(dú)購(gòu)買明顯，還需提供步進(jìn)機(jī)品牌和型號(hào)。
6XX系列替換了之前的3XX和4XX系列顯示，3XX和4XX系列于2020年12月陸續(xù)停產(chǎn)創新為先。
