PFA花籃（PFA wafer Cassette） 又名 清洗花藍 大幅增加，特氟龍卡匣 ， 特氟龍晶舟盒 傳承，特氟龍晶圓盒為承載半導體晶圓片/硅片的容器等特點，耐酸耐堿耐腐蝕(強酸、強氟酸多種、強堿)將進一步，能做激光雕刻，能夠安裝RFID發展成就。保持載體和物料的跟蹤成就。
主要用于半導體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓開展面對面。我司PFA花籃自然條件，進入化學酸、堿蝕刻制程中開展，可搭配PFA把手使用互動互補。
二、參數(shù)
名稱 | 規(guī)格 | 耐溫性 | 應用 |
PFA花籃 PP Cassette | 2寸 | -200~260℃ | 酸堿傳輸制程 |
4寸 |
6寸 |
三意向、特點
1.耐腐蝕：耐受強酸強堿
2.搭配可活動把手意料之外，用于晶圓芯片清洗運輸
3.耐高低溫：-200~260℃
4.耐絕緣：介電性能與溫度文化價值、頻率無關(guān)；
5.防污染：本底值低置之不顧，金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb不斷完善；
6.低的溶出和析出，確保晶圓芯片無污染
7.化學性能穩(wěn)定
公司擁有三十多年PFA制品生產(chǎn)加工經(jīng)驗方便，公司投入大量人力基礎上、物力致力于太陽能光伏相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)，截止目前應用領域，公司推出的光伏用--太陽能硅片花籃保持競爭優勢，太陽能硅片承載器,硅片花藍,,半導體清洗花籃。
產(chǎn)品名稱:2個″特富龍卡匣 /PFA晶舟盒
尺寸:142.1 (L) * 67.08 (W) * 59 (H)毫米
重量:194.5克
容量:25PCS
晶圓尺寸:2寸(?50mm)厚度0.5mm~0.7mm
材料:聚四氟乙烯/ PFA
槽距:4.76毫米
產(chǎn)品名稱:4″特富龍晶舟盒/ PFA卡匣
尺寸:125 (L) * 140 (W) * 113 (H)毫米
重量:571克
能力:25PCS
晶圓尺寸:4寸(?100mm)厚度0.5mm~0.7mm
材料:聚四氟乙烯/ PFA
槽距:4.76毫米
產(chǎn)品名稱:6″特富龍卡匣/ PFA晶舟盒
尺寸:179 (L) * 147 (W) * 175 (H)毫米
重量:1045.4克
能力:25PCS
晶圓尺寸:6英寸(?150mm)
材料:聚四氟乙烯/ PFA
槽距:4.76毫米
產(chǎn)品名稱:8″特富龍花籃/ PFA晶圓盒
尺寸:233 (L) * 220 (W) * 225 (H)毫米
重量:1407克
能力:25PCS
晶圓尺寸:8英寸(?200mm)
材料:聚四氟乙烯/ PFA
