| 參考價 | ￥10000-￥300000/件 |
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PXH-200探針臺具有優(yōu)異的機械性能和高精度測試功能，可搭配不同的測試組件實現(xiàn)多種測試功能合理需求，卡盤快速移動功能是目前主流，可滿足客戶對整片晶圓高效測試的需求，非常適合研發(fā)類實驗室的一次性預算購置高質量。
測試方向：DC 直流/（IV充分發揮、CV）測試、RF 射頻測試管理、FA 失效分析測試設計、低電流測試、1/f 噪聲測試改進措施、器件表征測試就此掀開、老化測試、大功率/大電流及/大電壓測試等今年。
| 8" 卡盤不斷豐富，包含中心吸附孔和多圈吸附環(huán)實施體系，真空吸附樣品，均獨立控制 | ||
| 卡盤采用空氣軸承運動平臺技術(shù)各有優勢，可快速大行程移動,三擋控制（X,Y效果較好，XY） | ||
| 卡盤X-Y軸移動行程：200mm*200mm，精度1μm | ||
| 卡盤Z軸移動行程：10mm持續，精度 1μm | ||
| 卡盤的旋轉(zhuǎn)角度：360度,精度0.1°等多個領域，帶刻度尺 | ||
| 卡盤電學獨立懸空，可作為背電極引出信號,臺體帶有接地端子 | ||
| U型針座平臺產品和服務，可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡應用擴展，便于針卡重定位 | ||
| 針座平臺快速升降行程6mm，微調(diào)行程60mm,精度1um前景，并帶自動鎖定功能 | ||
| 龍門架結(jié)構(gòu)設計進一步意見，可調(diào)節(jié)顯微鏡在X-Y平面50mm*50mm范圍內(nèi)移動,精度1微米 | ||
| 可調(diào)節(jié)顯微鏡氣動升降50mm,便于更換物鏡，帶升降開關(guān) |
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