威思曼高壓電源場發(fā)射掃描電子顯微鏡應(yīng)用的OEM模塊EMB系列高壓電源為場發(fā)射掃描電子顯微鏡高質(zhì)量圖像和高分辨率提供了保障，接受客戶定制提供深度撮合服務。
威思曼的EMB系列是一款集成的多輸出的高壓電源服務品質，專為驅(qū)動掃描電子顯微鏡而設(shè)計，所有輸出均提供ppm級低輸出紋波組成部分， ppm級穩(wěn)定性影響， ppm級溫度系數(shù)，高精度和少微放電的過程中。威思曼在該應(yīng)用中研究15年發展契機，積累了豐富的知識使我們可以按照客戶的需求定制以滿足電子顯微鏡的苛刻要求。
采用緊湊型解決方案促進進步，體積小發力。所有輸出均提供低輸出紋波，出色的穩(wěn)定性迎來新的篇章，溫度系數(shù)和精度共創美好。通過威思曼自有的高壓隔離技術(shù)提供相應(yīng)懸浮電源的隔離和控制。
該集成EMB系列電源系統(tǒng)薄弱點，客戶控制通過光纖接口完成覆蓋範圍。所有高壓安全聯(lián)鎖均采用基于故障安全硬件的設(shè)計，EMB系列電源通過CE認(rèn)證積極性，符合適用的IEC奮勇向前，UL和SEMI標(biāo)準(zhǔn)。
典型應(yīng)用：
場發(fā)射掃描電子顯微鏡
電子束供電
產(chǎn)品規(guī)格
（參考PDF規(guī)格書）
產(chǎn)品特性：
輸入電壓：+ 24Vdc服務機製，±5％@5安培。 浪涌電流<6安培使用，持續(xù)1秒大幅拓展。
安全保險絲： 5 x 20mm陶瓷保險絲，內(nèi)部更換更加堅強，并標(biāo)有保險絲值與時俱進。
漏電流： <200μA
電壓：相對于地性能，0V至-30kV滿載
電源開關(guān)：船型開關(guān)允許從前面板開啟和關(guān)閉裝置。
環(huán)境：
工作溫度：正常工作時環(huán)境溫度+ 10°C至+ 45°C綜合運用。該裝置將在0°C下運行供給，但需要延長預(yù)熱時間。
儲存溫度：-30°C至+ 70°C
濕度：10至90％RH實事求是，無冷凝
海拔高度：全功率2000米ASL進行探討。對于2000 米以上的海拔高度，環(huán)境工作溫度每300米間隔線性降低1.1°C服務水平。
機(jī)械：
該裝置配有一對可拆卸的安裝支架;
該裝置可以任何方向操作最新。M5 x 23mm 保護(hù)接地螺柱安裝在HV連接器附近
尺寸：133mmX334mmX361mm
重量：<48.5 lbs. (<22kg)
加速電源
輸出電壓：
-100V至-30kV，負(fù)極性處理方法。
可設(shè)定32.5kV的無負(fù)載電流的調(diào)節(jié)電壓重要作用。
在任何情況下輸出都不會大于35kV。輸出可以設(shè)置為OFF習慣，禁用Beam Energy轉(zhuǎn)換器充足，在這種情況下輸出將<60伏。
輸出電流：
200μA的積極性，20kV至30kV
輸出電流保護(hù)范圍：
250μA±10％輸出禁用并鎖定綠色化發展，延遲約1秒。程序電壓設(shè)置為零十大行動。
精度（電壓給定）：
在控制范圍內(nèi)<1％或±10V（以較大者為準(zhǔn)）
電壓控制：
16位DAC左右，分辨率0.5V，滿量程= 32,768伏
線性度：
-20至-30kV <±25V
負(fù)載調(diào)整率：
對于30μA至200μA的負(fù)載變化綜合措施，<±100mV
線路調(diào)整率：
從22.8V到26.4V線路變化<±10ppm
波紋：
<20mVp-p @ 0uA至200uA可靠保障，0.1Hz至20MHz
溫度系數(shù)：
從+10℃到+45℃<10ppm /℃，從+20℃到+30℃ <5ppm /℃
穩(wěn)定性：
在恒定操作條件下預(yù)熱1小時后<200mV / 15分鐘設計標準。
電壓顯示：
16位高端化，分辨率0.5V。相對于實際輸出電壓的精度為±2％或±10V我有所應。
電流顯示：
12位提單產，分辨率100nA，精度為±2％或±1μA至關重要。
擺動幅度：
0％至100％調(diào)制發展空間，步長為1％，其中100％定義為光束能量輸出的±5％有所應，最小值為±50V足了準備。峰峰值是振幅的兩倍。
擺動周期：
666至2000毫秒著力提升∩羁虄群?？梢?毫秒的步長調(diào)節(jié)傳遞。正弦輸出，每周期16點深入闡釋。擺動始終在零交叉處開始和停止相關性。
儲存能量：
<850mJ
燈絲電源：
連接：
燈絲的中心連接到Beam Energy輸出。輸出可以設(shè)置為關(guān)閉物聯與互聯，禁用燈絲轉(zhuǎn)換器穩定。
燈絲電壓：
標(biāo)稱值為1.8V，值為3V
燈絲電流：
控制范圍為0.5A至3A
負(fù)載電阻：
標(biāo)稱值為0.6Ω
準(zhǔn)確性：
2至3安培之間±5mA
電流控制：
12位DAC紮實，分辨率1mA效高化。滿量程= 4.096安培
線性度：
0.5A和3A之間±10mA
負(fù)載調(diào)整率：
在3A時，0.4Ω至1.0Ω的變化<5mA投入力度。（包括輸出線）
線路調(diào)整率：
電源電壓變化5％<1mA創造。
線性度：
0.5A和3A之間±10mA
波紋：
0.6mA @ 3.0A時，<1mAp-p貢獻法治，20Hz至10kHz設備製造，<30mV pp，約100kHz
溫度系數(shù)：
<25PPM /℃
穩(wěn)定性：
<2mA / 60分鐘攻堅克難。在恒定的操作條件下預(yù)熱一小時后管理。
電壓顯示：
12位，分辨率2.5V雙向互動，滿量程= 10.24V效率和安。
相對于實際輸出電壓的精度：±5％或±25mV
電流顯示：
12位，分辨率+/- 1mA助力各業，滿量程= 4.096安培極致用戶體驗。
相對于實際輸出電流的精度為±10mA。
燈絲開路報警OC：
開路檢測應用，Vout> 5.2±0.1伏建議。將禁用所有輸出并將程序設(shè)置為零。
燈絲電流過流保護(hù)：
如果輸出電流大于3.15A十秒鐘相貫通，則檢測到過電流不斷發展。將禁用所有輸出并將程序設(shè)置為零。
提取極電源
輸出電壓：
0V至10kV（相對于加速電壓為正）自動化方案。
控制范圍+ 100V至+ 10kV緊密協作。輸出可以設(shè)置為OFF，禁用提取器轉(zhuǎn)換器線上線下。
輸出電流：
控制范圍700μA發揮重要作用。
編程過流電流值：
可編程0至735μA，分辨率0.25μA。精度±2％或2μA去突破。應(yīng)禁用所有輸出并將程序設(shè)置為零
精度（電壓給定）：
在控制范圍內(nèi)<1％或±20V（以較大者為準(zhǔn)）
電壓控制：
12位DAC，分辨率2.5V達到，滿量程= 10.24kV
線性：
在控制范圍內(nèi)±20V
負(fù)載調(diào)整率：
<±1V（10μA - 700μA輸出電流變化）
<100mV @ 40μA0.1Hz 至20MHz
輸入調(diào)整率：
+/- 5％線路變化<±5ppm
波紋：
在10kV智能設備，700μA，0.1Hz-20MHz時<15mVp-p
溫度系數(shù)：
<25ppm/℃
穩(wěn)定性：
<0.05V / 15分鐘; 在恒定的操作條件下預(yù)熱一小時后
斜率：
10V / s至1000V / s
電壓顯示：
12位蓬勃發展，分辨率2.5V特點，滿量程= 10.24kV。
相對于實際輸出電壓的精度：±1％或±20V
電流顯示：
12位重要性，分辨率0.25uA又進了一步，滿量程= 1.024mA。
相對于實際輸出電壓的精度：±2％或±2uA
保護(hù)：
連續(xù)/間歇的電弧到加速電源和大地多元化服務體系。
儲存能量：
<150mJ
抑制極電源
電壓：
0V至1000V（相對于加速電壓為負(fù)）規劃。
控制范圍100V至1000V。輸出可以設(shè)置為OFF深度，禁用提取器轉(zhuǎn)換器帶動擴大。
輸出電流：
控制范圍<200μA。
過流保護(hù)：
100μA±10％開拓創新，延遲5秒持續發展，將禁用所有輸出并將程序設(shè)置為零配套設備。
精度（電壓給定）：
在控制范圍內(nèi)<2％或±6V（以較大者為準(zhǔn)）
電壓控制：
12位提供有力支撐，分辨率0.25V，滿量程= 1024V
線性：
在控制范圍內(nèi)±5V
負(fù)載調(diào)整率：
對于10μA至100μA的負(fù)載電流變化系列，<120mV道路。
輸入調(diào)整率：
+/- 5％線路變化<±5ppm
波紋：
控制范圍<15mV pp規模設備，0.1Hz至20 MHz。
溫度系數(shù)：
<25PPM /℃
穩(wěn)定性：
<0.1V / 15分鐘; 在恒定的操作條件下預(yù)熱一小時后
電壓顯示：
12位責任製，分辨率0.25V十分落實，滿量程= 1.000kV。
相對于實際輸出電壓的精度：±2％或±250mV
電流顯示：
12位規則製定，分辨率0.25uA製造業，滿量程= 0.2mA。
實際輸出電流精度：±10％
保護(hù)：
連續(xù)/間歇弧到加速電源或提取極電源
儲存能量：
<2.5mJ
