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J51152/ZF 6英寸劃片機(jī)

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6英寸劃片機(jī)能對(duì)各種硬脆材料進(jìn)行切割或槽加工建言直達。如硅片鍺多種、玻璃、鐵氧體充分發揮、鈮酸鋰發展成就、鉭酸鋰、磷化鎵重要方式、砷化鉀開展面對面、磷砷化鎵氧化鋁及各類陶瓷等

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J51152/ZF6英寸劃片機(jī)

劃片機(jī) 切割機(jī) 分切機(jī)

J51152/ZF6英寸劃片機(jī)主要技術(shù)規(guī)格:

硅片zui大加工尺寸:Ø152.4mm (6")

x軸  (1)zui大行程:200mm (2)工作行程范圍:20~160mm (3)切割速度分兩級(jí): a)進(jìn)給:0.1~70mm/s 回程:70mm/s b)進(jìn)給:1~300mm/s 回程:300mm/s

y軸  (1)zui大行程: 160mm (2)zui小步進(jìn)距離:0.002mm (3)zui大步進(jìn)距離:30mm/s (4)定位精度:0.003mm

z軸  (1)zui大行程19mm(以Ø 50刀盤為準(zhǔn)) (2)zui小步矩0.002mm

θ軸:手動(dòng)旋轉(zhuǎn):90˚±30"(可微調(diào))

主軸轉(zhuǎn)速范圍:10,000~40,000r/min (通常在30,000r/min) 功率 400W CCD對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)設(shè)備尺寸mm(寬x深x高):約906x1020x740

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