產(chǎn)品介紹：NX5000新型高分辨FIB-SEM雙束系統(tǒng)采用冷場發(fā)射電子槍和全新的Aquilaα鏡筒關鍵技術，具有高分辨的觀察能力了解情況；同時大束流的離子槍和實時觀察功能使其具有超高的加工效率。的第三束（Ar
主要特點：
1. 高分辨冷場發(fā)射電子槍技術研究，實現(xiàn)高分辨觀察（0.7nm@15kV）
2. 全新的Aquila α鏡筒和多探測器實現(xiàn)不同觀察目的
3. 大束流（100nA）重要的、高穩(wěn)定性離子槍實現(xiàn)快速加工
4. 實時觀察、多探針系統(tǒng)和7軸樣品臺等技術(shù)有效防止窗簾效應
5. 第三束Ar的引入實現(xiàn)無損和超薄樣品的加工
6. 多種沉積氣體可選
7. 全自動TEM樣品制備
應用領(lǐng)域：
納米材料微加工
半導體及電子元器件加工
生命科學
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