簡(jiǎn)介

陰極熒光系統(tǒng)（Cathodoluminescence, CL）通常配置在掃描電鏡或透射電鏡中培養，能夠?qū)崿F(xiàn)形貌觀察交流研討、結(jié)構(gòu)和成分分析同陰極熒光光譜的結(jié)合研究，實(shí)現(xiàn)全光譜熒光掃描成像方案。陰極熒光激發(fā)所用的電子束束斑非常小應用的選擇，能量高；相比于光致發(fā)光（ Photoluminescence, PL）陰極熒光具有高空間分辨左右、高激發(fā)能量背景下、寬光譜范圍、大激發(fā)深度等特點(diǎn)可靠保障，并能夠?qū)崿F(xiàn)全光譜熒光掃描成像自然條件。陰極熒光系統(tǒng)結(jié)合掃描電子顯微鏡能夠在小尺度對(duì)半導(dǎo)體材料與器件、熒光材料（地質(zhì)開展、考古材料）等實(shí)現(xiàn)形貌觀察互動互補、結(jié)構(gòu)和成分分析同陰極熒光光譜的結(jié)合研究，在半導(dǎo)體意向、微電子意料之外、材料、物理形式、地質(zhì)置之不顧、考古等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。特別在微米進一步提升、納米尺度的半導(dǎo)體量子點(diǎn)空間廣闊、量子線等熒光物質(zhì)的發(fā)光性質(zhì)及電子結(jié)構(gòu)的的研究領(lǐng)域，陰極熒光技術(shù)具有重要的應(yīng)用價(jià)值改革創新。