NanoFocus μsurf custom光學輪廓儀(三維共聚焦表面測量系統(tǒng)/3D顯微鏡)
品牌：德國NanoFocus
型號：μsurf custom
μsurf系列產(chǎn)品采用多孔共聚焦技術(shù)新型儲能，結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞引人註目，再將物鏡垂直移動領域，以類似斷層攝影方式，可在短時間(約幾秒)內(nèi)精確量測物體的三維數(shù)據(jù)好宣講。其測量方式是非接觸式，不會破壞樣品的表面領先水平，不需要在真空環(huán)境下測量，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴酷的工作環(huán)境下戰略布局，也能正常使用事關全面。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時狀態，跟其他方法相比技術節能，可以更精確量測物體高度，建立3D立體影像廣泛認同，優(yōu)勢相當明顯國際要求。
NanoFocus μsurf custom三維共聚焦表面測量系統(tǒng)，可以根據(jù)客戶的具體需求進行樣品平臺和軟件的定制，功能齊全競爭激烈，可以自動測量持續創新，能精確捕捉樣品的三維結(jié)構(gòu)和微納米尺度的復雜幾何形狀，并擁有超高光學分辨率和zui全面廣泛的三維表面形貌分析處理能力空白區。該機臺還配備了整合計算機和測量系統(tǒng)的工作臺協調機製，可以將一些測試報告等資料放在工作臺的抽屜里，便捷可靠形勢。
μsurf系列用來測量表面物理形貌實踐者，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌約定管轄、2D的縱深形貌數據、輪廓（縱深、寬度業務指導、曲率改進措施、角度）、表面粗糙度等積極性。
- 精密部件：檢測對表面磨損奮勇向前，表面粗糙度，表面微結(jié)構(gòu)有要求的零部件實施體系，比如發(fā)動機汽缸組建、刀口等;
- 生命科學：測量stents支架上鍍層厚度等
- 微電子機械系統(tǒng)：微型器件的檢測，醫(yī)藥工程中組織結(jié)構(gòu)的檢測效果較好，如基因芯片等
- 半導體：檢測微型電子系統(tǒng)重要的意義，封裝及輔助產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計
- 太陽能：太陽能電池片柵線的3D形貌表征、高寬比測量等多個領域，制絨后3D形貌表征（單晶金字塔大小再獲、數(shù)量、角度應用擴展，多晶腐蝕坑形貌體驗區、密度），粗糙度分析等
- 紙張：紙張活動上、錢幣表面三維形貌測量
- LED：用于藍寶石襯底的測量有望，抽檢PSS ICP后的WAFER的3D形貌
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
測量時間：2~10秒
測量原理：非接觸、共聚焦
X/Y方向：平臺移動范圍：100mmX100mm/200mmX200mm/300mmX300mm(大小可選)導向作用，馬達驅(qū)動方案，X/Y方向分辨率：0.3μm
Z方向測量范圍：350μm，Z方向分辨率：< 1nm
物鏡：10X十大行動、20X左右、50X背景下、100X(可選)
離軸攝像頭(10X)，zui大視野8 x 6 mm2(選配)
計算機：高性能計算機控制系統(tǒng)傳承，功能強大且全面的軟件等特點，有拼接功能
配有專業(yè)工作臺：尺寸1550x800x750 mm (LxH)
工作電源：100-240V, 50-60Hz，input: 550 VA
材質(zhì)：鋼鐵多種、橡膠將進一步、大理石
重量：約150KG+80KG
潔凈室等級: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)
設(shè)備咨詢:
Ronnie Chen +86- +86-21-61533166 [email protected]
