微型殘余氣體分析儀是一種較小的質(zhì)量能譜儀分析系統(tǒng)進一步提升。通過享有的小型化設(shè)計將四電極質(zhì)量過濾器進(jìn)行排列空間廣闊，從而獲得了緊湊尺寸。這種排列方式可以提供相近或者更好的靈敏度改革創新。

產(chǎn)品介紹

特征

• 較為緊湊的安裝尺寸和較輕的重量

與傳統(tǒng)的殘余氣體分析儀相比知識和技能，尺寸較小取得顯著成效，這使它容易整合到您的系統(tǒng)之中。

• 高性能

在只占傳統(tǒng)電極一小部分的體積里實現，微型化的九電極排列提供了良好的靈敏度不容忽視。

• 高壓力條件下可使用

可以在高于0.9Pa（7mTorr, 9 x 10^-3mbar）的壓力條件下使用，在許多需要昂貴真空泵的應(yīng)用當(dāng)中服務體系，可以簡化或者省略泵的使用說服力。

• 已經(jīng)校準(zhǔn)過的可替換傳感器接頭

此傳感器接頭在出貨之前已經(jīng)進(jìn)行過預(yù)調(diào)諧和校準(zhǔn)。允許客戶自己在現(xiàn)場進(jìn)行傳感器的更換分析。

• 網(wǎng)絡(luò)傳感器

升級到八電極后表示，可以通過一臺使用RS485接口的電腦進(jìn)行監(jiān)測。此系統(tǒng)也可以通過以太網(wǎng)進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)測非常激烈。

• 用戶友好軟件

微電極掃描軟件允許用戶用各種不同的方式監(jiān)測氣體的部分壓力拓展基地，如趨勢曲線圖，相似性曲線圖實力增強，泄露模式體系流動性，條形統(tǒng)計圖，3D等

• 監(jiān)測控制

可選擇性的監(jiān)測控制器可以安裝在反應(yīng)室的光譜發(fā)生器上帶來全新智能，使用戶無需電腦可以監(jiān)測真空反應(yīng)室實現了超越。

■測量原理

殘余氣體分析儀是由一個離子源，一個質(zhì)量分光儀和一個監(jiān)測單元組成去完善。當(dāng)殘余氣體與從高溫金屬絲釋放的熱電子碰撞后橋梁作用，它將被離子化。并且範圍，這些因此產(chǎn)生的離子會加速會合到質(zhì)量能譜儀上求得平衡。在質(zhì)量能譜儀上內(nèi)，直流和交流電壓被應(yīng)用到四個圓柱形的電極上（方形排列）空間廣闊，從而讓離子因質(zhì)量的不同而被分離開至關重要。這些被分開的離子通過法拉第杯作為直流電被發(fā)現(xiàn)。這種離子電流是與殘余氣體的質(zhì)量成比例的服務品質。