Pico 等離子設(shè)備能夠以不同的形式進(jìn)行整合應用的因素之一，例如以模塊系統(tǒng)的形式。在下文中您可以大致了解能夠與 Pico 等離子系統(tǒng)一同使用的見(jiàn)的選裝件預期。Pico 等離子系統(tǒng)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：
分析 (REM, TEM)
考古
汽車(chē)行業(yè)
研究和開(kāi)發(fā)部門(mén)
半導(dǎo)體技術(shù)
小批量生產(chǎn)
塑料技術(shù)
醫(yī)療技術(shù)
微系統(tǒng)技術(shù)
傳感器
滅菌
紡織技術(shù)
系列 | Pico系列 |
控制系統(tǒng) | 半自動(dòng)型 PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE) PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
體積 | 4~15L |
真空腔室 | 圓形不銹鋼件敢於監督，配有蓋子
（大約Φ 150 mm, 長(zhǎng) 320 mm 或者長(zhǎng) 600 mm）或者 矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門(mén)
（約寬 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或者 600 mm） 配有蓋子的圓形鋁材結構，或者配有鉸鏈的門(mén)
（大約Φ 130 mm, 長(zhǎng) 300 mm 或者長(zhǎng) 600 mm） 配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)重要的作用，或者配有鉸鏈的門(mén)
（大約Φ 130 mm, 長(zhǎng) 300 mm 或者長(zhǎng) 600 mm） 配有蓋子的圓形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門(mén)
（大約Φ 130 mm, 長(zhǎng) 300 mm 或者長(zhǎng) 600 mm） |
電極 | 單層或多層 RIE |
樣品支架 | （選項(xiàng)：水冷型）規模最大、石英玻璃舟皿穩中求進、粉末轉(zhuǎn)鼓模式、散裝件轉(zhuǎn)鼓顯示、鋁板持續創新、不銹鋼板信息、硼硅玻璃講理論、石英玻璃 |
氣源 | 針型閥 質(zhì)量流量控制器 (MFCs) |
壓力計(jì) | Pirani Baratron（適用于腐蝕性氣體版本） |
計(jì)時(shí)器 | 數(shù)字型 |
高頻電流發(fā)生器 | 40 kHz: 功率 0 - 200 W蓬勃發展；0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 50 W使用；0 - 100 W溝通協調；0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 300 W 所有發(fā)生器均為 0 - 99% 無(wú)級(jí)可調(diào)型 |
真空泵 | KASHIYAMA |
電源 | 臺(tái)式設(shè)備為 230 V最為顯著，立式設(shè)備為 400 V/3 相位 |
備件套件尤為突出、壓力計(jì)、腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)環境、氣瓶空間載體、減壓器、加熱板相對簡便、溫度顯示器重要組成部分、加熱型腔室、Faraday Box合作、等離子體聚合配件勃勃生機、測(cè)試墨水助力各業、 氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置提供有力支撐、慢速抽吸裝置應用、TEM樣品架法蘭、維護(hù)/服務(wù)品率、當(dāng)?shù)卣Z(yǔ)言的文件先進的解決方案、現(xiàn)場(chǎng)安裝，包括培訓(xùn)創造更多⌒v活動？蓱?yīng)要求提供的其他選項(xiàng)。
