FlexScribe Station 晶圓劃片機(jī)是一種通過(guò)在頂部劃線(xiàn)來(lái)縮小晶圓和樣品尺寸的超快速開放以來、簡(jiǎn)單的方法。它使用安裝在滑動(dòng)劃線(xiàn)機(jī)構(gòu)上的硬質(zhì)合金劃線(xiàn)輪高質量，始終進(jìn)行直線(xiàn)劃線(xiàn)提供了有力支撐。

FlexScribe Station 晶圓劃片機(jī)

FlexScribe Station 晶圓劃片機(jī)是一種通過(guò)在頂部劃線(xiàn)來(lái)縮小晶圓和樣品尺寸的超快速、簡(jiǎn)單的方法前景。它使用安裝在滑動(dòng)劃線(xiàn)機(jī)構(gòu)上的硬質(zhì)合金劃線(xiàn)輪實事求是，始終進(jìn)行直線(xiàn)劃線(xiàn)。該系統(tǒng)用于對(duì)各種材料進(jìn)行劃線(xiàn)落到實處，不受形狀限制服務水平，包括載玻片、蓋玻片技術創新、硅處理方法、III-V、藍(lán)寶石和其他晶體和脆性材料持續向好。它可以處理小至 5 毫米至 300 毫米的小的晶圓樣品活動上。

安裝在 FlexScribe 上的標(biāo)準(zhǔn)碳化鎢刀具適合切割各種樣品，包括硅進一步推進、玻璃導向作用、GaAs 和其他晶體材料。LatticeGear 推：

• PCD-ND120金剛石刀具應用的選擇，適用于薄的玻璃十大行動、鋼化玻璃和藍(lán)寶石等硬質(zhì)材料

• TC-ND153用于在 45 度下切割100 硅和厚玻璃的應(yīng)用

優(yōu)勢(shì)

• 劃線(xiàn)度 ±200 μm（可實(shí)現(xiàn)）

• 靈活的樣本大小和形狀

• 能夠?qū)φ澈系木w和非晶晶片和芯片進(jìn)行劃線(xiàn)左右，以進(jìn)行后續(xù)切割

• 無(wú)需維護(hù)

特征

• 劃線(xiàn)的長(zhǎng)度可以從 1 毫米到 100 毫米不等

• 用戶(hù)可更換墨盒中的預(yù)對(duì)準(zhǔn)金剛石劃片；高度和角度可調(diào)

• 嵌入平臺(tái)的標(biāo)尺可實(shí)現(xiàn)確且可重復(fù)的樣品對(duì)齊和尺寸調(diào)整

• 該工具是純機(jī)械的綜合措施；無(wú)需電源