Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度防控、翹曲度和應力的2D 測量成效與經驗。光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能堅實基礎。

Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度稍有不慎、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量行動力。光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量規模最大，大垂直范圍和低觸力測量功能。

   探針測量技術的一個優(yōu)點是它是一種直接測量統籌，與材料特性無關f同控製？烧{節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行測量振奮起來。通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化利用好，確定添加或去除的材料量深入各系統，以及結構的任何變化。

   二系列、 功能

   設備特點

• 臺階高度：幾納米至1000μm

• 低觸力：0.5至15mg

• 視頻：500萬像素率彩色攝像頭

• 梯形失真校正：消除側視光學系統(tǒng)引起的失真

• 圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

• 緊湊尺寸：小占地面積的臺式探針式輪廓儀

   主要應用

• 臺階高度：2D臺階高度

• 紋理：2D粗糙度和波紋度

• 形式：2D翹曲和形狀

• 應力：2D薄膜應力

   應用領域

• 半導體和復合半導體

• SIMS：二次離子質譜

• LED：發(fā)光二極管

• 太陽能

• MEMS：微電子機械系統(tǒng)

• 汽車

• 醫(yī)療設備

   三作用、應用案例

   臺階高度

  Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀能夠測量從幾個納米到1000μm的2D臺階高度。 這使其可以量化在蝕刻慢體驗、濺射著力增加、SIMS智能化、沉積、旋涂處理、CMP 和其他工藝期間沉積或去除的材料建設。 Alpha-Step系列具有低觸力功能，可以測量如光刻膠的軟性材料助力各行。

   紋理：粗糙度和波紋度

  Alpha-Step D-300 測量 2D 紋理前來體驗，量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分確定性，并計算諸如均方根（RMS）粗糙度之類的參數(shù)更加廣闊。

   外形：翹曲和形狀

   Alpha-Step D-300 可以測量表面的2D形狀或翹曲。 這包括對晶圓翹曲的測量講故事，例如在半導體或化合物半導體器件生產過程中非常完善，多層沉積層結構中層間不匹配是導致這類翹曲產生的原因。Alpha-Step 還可以量化包括透鏡在內的結構高度和曲率半徑自動化方案。

   應力：2D薄膜應力

  Alpha-Step D-300 能夠測量在生產包含多個工藝層的半導體或化合物半導體器件期間所產生的應力緊密協作。 使用應力卡盤將樣品支撐在中性位置測量樣品翹曲。 然后通過應用Stoney方程線上線下，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應力發揮重要作用。