離子分析質(zhì)譜儀/飛行時間二次離子質(zhì)譜儀可分析來自固體樣品的二次陰、陽離子和中性粒子集成技術。采用技術(shù)的SIMS 探針就能壓製，便于連結(jié)到現(xiàn)有的UHV表面科學(xué)研究反應(yīng)室。

飛行時間二次離子質(zhì)譜儀特點： 
1適應能力、高靈敏度脈沖離子計數(shù)檢測器更優美，7個數(shù)量級的動態(tài)范圍
2、SIMS 成像防控，分辨率在微米以下 
3合作關系、光柵控制，增強深度分析能力
4深刻內涵、45°靜電扇形分析器, 掃描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM. 
5、所有能量范圍內(nèi)融合，離子行程的zui小擾動深入闡釋，及恒定離子傳輸
6、差式泵3級過濾四極桿完成的事情，質(zhì)量數(shù)范圍至2500amu
7物聯與互聯、靈敏度高 / 穩(wěn)定的脈沖離子計數(shù)檢測器
8、Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護
9改造層面、通過RS232供給、RS485或Ethernet LAN，軟件 MASsoft控制


應(yīng)用：
1經驗分享、靜態(tài) /動態(tài)SIMS
2解決方案、一般目的的表面分析
3、整體的前端離子源有力扭轉，便于RGA和 SNMS
4上高質量、兼容的離子槍/ FAB 槍
5一站式服務、成分/污染物分析
6、深度分析
7深入交流、泄漏檢測
8智能化、與Hiden SIMS 工作站兼容