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Transpector® MPH 殘余氣體分析儀

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 杭州太昊科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地 杭州市
  • 廠(chǎng)商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2021/5/17 15:23:09
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 1278

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Transpector® MPH 殘余氣體分析儀 INFICON 利用在氣體分析過(guò)程控制設(shè)備領(lǐng)域的專(zhuān)長(zhǎng)制造的 RGA 具有行業(yè)先的數(shù)據(jù)采集速度支撐能力，可檢分壓強(qiáng)和信噪比低健康發展。所有這些特性都不會(huì)犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。

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  • Transpector® MPH 殘余氣體分析儀

解放您的過(guò)程

的性能提高良率并使正常運(yùn)行時(shí)間

持續(xù)上升的硅晶圓價(jià)格以及對(duì)成品的需求意味著廢棄晶圓需要付出較高的代價(jià)大數據。因此，在半導(dǎo)體制造中心了解過(guò)程并監(jiān)測(cè)缺陷也變得更加重要講實踐。Transpector MPH 氣體分析系統(tǒng)專(zhuān)門(mén)用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實(shí)現(xiàn)業(yè)內(nèi)的性能空間廣闊，有助于最大限度地提高芯片產(chǎn)量，降低工具停工時(shí)間改革創新。Transpector MPH 兼具總擁有成本低和平均故障間隔時(shí)間長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)知識和技能，在幫助您贏(yíng)利方面的作用優(yōu)于市面上的任何其他殘余氣體分析儀 (RGA)。

INFICON 利用在氣體分析過(guò)程控制設(shè)備領(lǐng)域的專(zhuān)長(zhǎng)制造的 RGA 具有行業(yè)先的數(shù)據(jù)采集速度新模式，可檢分壓強(qiáng)和信噪比低實現。所有這些特性都不會(huì)犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。

 

 

  • Transpector® MPH 殘余氣體分析儀

功能

  • 最大模擬掃描和選定峰值的數(shù)據(jù)速率為每點(diǎn) 1.8 ms
  • TCP/IP 以太網(wǎng)連接
  • 雙絲極
  • 可現(xiàn)場(chǎng)更換電子倍增器
  • 組合陽(yáng)極組織了、陰極和反射極絲極套件
  • 較短的傳感器可降低安裝占地面積
  • 九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)量程
  • <2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu）
  • 信噪比更高
  • 可調(diào)換傳感器和電子元件
  • 傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配服務體系、測(cè)試并進(jìn)行雙層包裝
  • 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

 

Type MPH100FMPH100MMPH200FMPH200MMPH300FMPH300M
傳感器長(zhǎng)度 14.3 cm19.3 cm14.3 cm19.3 cm14.3 cm19.3 cm
質(zhì)量范圍 100 amu100 amu200 amu200 amu300 amu300 amu
檢測(cè)器類(lèi)型 FCFC/EMFCFC/EMFCFC/EM
靈敏度 (FC) 6E-4 A/Torr6E-4 A/Torr5E-4 A/Torr5E-4 A/Torr4E-4 A/Torr4E-4 A/Torr
靈敏度 (EM) NA500 A/TorrNA500 A/TorrNA250 A/Torr
Z小可檢測(cè)分壓 (4) 3E-13 Torr2E-15 Torr4E-13 Torr3E-15 Torr5E-13 Torr4E-15 Torr
Z高傳感器工作溫度(FC) 200°C200°C200°C200°C200°C200°C
Z高傳感器工作溫度(EM) NA150°CNA150°CNA150°C
絲極類(lèi)型選件 (1) Y2O3/IrY2O3/IrY2O3/IrY2O3/IrY2O3/IrY2O3/Ir
絲極類(lèi)型選件 (2) TungstenTungstenTungstenTungstenTungstenTungsten
分辨率（整個(gè)質(zhì)量范圍內(nèi)） <1 amu wide (3)<1 amu wide (3)<1 amu wide (3)<1 amu wide (3)<1 amu wide (3)<1 amu wide (3)
溫度系數(shù) <1% of peak height/°C<1% of peak height/°C<1% of peak height/°C<1% of peak height/°C<1% of peak height/°C<1% of peak height/°C
高每點(diǎn)數(shù)據(jù)率 1.8 ms1.8 ms1.8 ms1.8 ms1.8 ms1.8 ms
零沖擊（@ 質(zhì)量 2） <5 ppm<5 ppm<65 ppm<65 ppm<100 ppm<100 ppm
Z大工作壓力 5E-4 Torr5E-4 Torr5E-4 Torr5E-4 Torr5E-4 Torr5E-4 Torr
Z高烘烤溫度300300300300300300
功率輸入 20-30 VDC20-30 VDC20-30 VDC20-30 VDC20-30 VDC20-30 VDC

(1) 用于一般應(yīng)用

(2) 用于鹵素環(huán)境應(yīng)用

(3) 在峰高的 10％ 處

(4) 4 秒的停留時(shí)間

杭州太昊科技有限公司

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手機(jī)：18042039132

聯(lián)系人：王建峰

電話(huà)：0571-88073720

傳真：0571-86894985

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  • 規(guī)格取得明顯成效、等級(jí)、主要成份
  • 使用方法說(shuō)明書(shū)數據、售后服務(wù)
  • 其他
以上可多選創新的技術，勾選其他，可自行輸入要求

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